판매용 중고 EBARA Frex 300 #9152437

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EBARA Frex 300
판매
ID: 9152437
웨이퍼 크기: 12"
Tungsten CMP systems 12".
EBARA Frex 300은 수동, 반자동 및 완전 자동화 모드를 용이하게하는 '웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마' 장비입니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 제조업체는 운영을 최적화 및 간소화하는 한편, 추가 처리 또는 조립을 위해 웨이퍼 (wafer) 를 준비하는 프로세스와 관련된 비용과 시간을 크게 줄일 수 있습니다. EBARA FREX-300은 직경이 최대 6 인치 인 파퍼의 연삭, 랩핑, 연마 등 다양한 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 여러 모듈식 구성 요소로 구성되어 있으며, 개별 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 주요 구성 요소는 제어 장치, 연삭 헤드 및 2 개의 연마 헤드입니다. 컨트롤 유닛은 프로세스 구성 및 모니터링을 위한 LCD 디스플레이가 있는 터치 패널 인터페이스입니다. 또한 연삭 및 연마 헤드의 속도와 압력을 제어하기위한 다양한 센서 입력 (sensor input) 및 출력 (output) 이 포함됩니다. 단위의 주요 컴포넌트 인 그라인딩 헤드 (grinding head) 는 웨이퍼 (wafer) 의 표면을 지우고 모서리를 부드럽게 할 수 있도록 설계되었습니다. 고속 스핀들 (spindle) 이 포함되어 있어 속도 (speed) 와 압력 (pressure) 을 조정하여 일관되고 정밀한 그라인드를 보장할 수 있습니다. 두 개의 연마 헤드는 가공소재를 부드럽게, 마무리 및 밝게 만드는 데 사용됩니다. 첫 번째 머리 는 고정 된 연마 "암 '이고, 두 번째 머리 는 진동 하는" 폴리셔' 로서 보다 부드럽고, 심지어 는 가공소재 에 압력 을 가한다. 두 머리 모두 "스핀들 '을 갖추고 있는데, 이것 은 가공소재 에 가해지는 압력 을 증가 시키고 감소 시킬 수 있다. F-REX300 의 독보적인 모듈식 설계, 광범위한 조정성 (Adjustability) 및 제어 기능 (Control) 을 통해 개별 제조업체의 요구에 맞게 조정하고 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 도어 센서 (door sensor) 와 같은 다양한 안전 기능 (예: 회전 헤드와의 우발적 접촉을 방지하는 도어 센서, 비상 정지 기능) 을 제공합니다. 또한, 기계는 다양한 웨이퍼 홀더를 장착 할 수 있으므로, 크기가 다른 웨이퍼 (wafer) 를 하나의 설정으로 처리 할 수 있습니다. 프렉스 300 (Frex 300) 은 효율적이고 비용 효율적이며 안정적인 방법으로 추가 처리 또는 조립을 위해 웨이퍼를 준비합니다.
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