판매용 중고 EBARA Frex 300 #9120543

EBARA Frex 300은 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 공정을 위해 설계된 특수 제조 장비입니다. 이 시스템은 정밀 웨이퍼 마무리 (Precision Wafer Finishing) 또는 다듬은 후 (Post-polishing) 응용 프로그램에 가장 적합합니다. EBARA FREX-300에는 웨이퍼를위한 독특한 3 축 랩핑 및 연마 테이블이 포함되어 있습니다. 이 테이블에서는 컷 제어의 수직, 수평, 깊이와 함께 시리즈 X, Y 및 Z 축에서 연산 그라인딩 및 랩핑 작업을 수행할 수 있습니다. 이 표는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 완전히 밀폐되어 뛰어난 내구성과 성능을 제공합니다. 조절 가능한 공기 롤러 (air roller) 는 처리 중 효율적인 재료 제거 및 입자 제거를 가능하게하며, 진동 드라이브 (옵션) 는 지루하고 노동 집약적인 수동 휠 연삭 작업을 제거합니다. 또한 F-REX300에는 속도, 방향 및 휠 위치 제어가 가능한 프로그래밍 가능한 멀티 축 그라인딩 휠 헤드가 포함되어 있습니다. 이 바퀴는 최적의 그라인딩 결과 및 최대 생산성을 위해 조정이 가능하고 가역적입니다. 헤드는 더 매끄러운 휠 트래버스 및 개선 된 표면 마무리를 위해 선형 슬라이드에 장착됩니다. 연마 모듈에는 프로그래밍 가능한 멀티 축 플랫 랩핑 휠 헤드가 장착되어 있습니다. 이 휠은 가변 회전 (variable rotational) 및 선형 (linear) 속도와 가변 컷 및 방향 깊이를 허용합니다. 바퀴는 수냉식 스테인리스 스틸 하우징에 둘러싸여 최소 마모와 수명 연장 (extended life) 을 제공합니다. 연마 모듈에는 가변 웨이퍼 연삭 및 연마 각도를위한 조정 가능한 랩핑 척 (lapping chuck) 도 포함됩니다. 마지막으로, 이 장치에는 클리닝 프로세스의 압력, 회전, 기간을 제어하는 내장 웨이퍼 (wafer) 클리닝 모듈이 포함되어 있습니다. 이 모듈은 Frex의 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 모듈과 통합되어 운영 효율성이 향상되었습니다. Frex 300의 강력한 기능은 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을위한 이상적인 기계입니다. 조절 가능한 멀티 축 그라인딩 휠 헤드 및 선형 슬라이드는 탁월한 제어 및 정확도를 제공합니다. 다용도 클리닝 모듈은 뛰어난 웨이퍼 클리닝 (wafer cleanliness) 및 표면 준비 (surface preparation) 를 보장하는 반면, 사용자 친화적 (user friendly) 컨트롤은 상당한 시간 절감을 단순화합니다. 다재다능한 기능으로, 이 기계는 반도체와 광전자 업계의 포스트 폴링 (post-polishing) 작업에 적합합니다.