판매용 중고 EBARA Frex 300 #9099440

EBARA Frex 300
ID: 9099440
웨이퍼 크기: 12"
Tungsten CMP system, 12".
EBARA Frex 300은 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 고성능 통신, 컴퓨터 전자, 항공 우주, 의료, 자동차 및 기타 산업 부품을 만드는 데 사용되는 연삭, 랩핑, 연마 작업에 대한 최고의 정확성과 높은 정확성을 제공합니다. EBARA FREX-300 (EBARA FREX-300) 은 편리하고 직관적인 탐색 및 작동을 지원하는 사용자 친화적인 Windows 기반 인터페이스로, 더 크고 복잡한 애플리케이션에 적합한 다양한 고급 프로그래밍 기능 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 (wafer) 및 기판 재료 (substrate materials) 에 사용하도록 설계되었으며, 수많은 공구 설비 및 액세서리를 사용하여 사용자는 특정 작업에 대한 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 그것은 웨이퍼 홀더 스테이지, 연삭 및 랩핑 휠, 연마 휠, 연마 패드, 연마 액체 및 진공 발포 장치로 구성됩니다. F-REX300에는 로터리 (rotary), 흔들림 (wobble) 및 나선형 그라인딩 (spiral grinding) 을 포함한 여러 그라인딩 모드와 프로세스 속도를 높이기 위한 빠른 축이 장착되어 있습니다. 이 장치의 웨이퍼 홀더 스테이지는 최대 8 인치, 100mm 및 200mm 웨이퍼를 유지하도록 설계되었습니다. 무대와 가이드는 고급 알루미늄 (aluminum) 과 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 있으며, 이 머신은 작동 중에 단단한 연삭 및 연마 정확성을 유지합니다. 폭 넓은 "다이아몬드 '도금 연마제 를 공급 한 연삭 및" 랩핑 휠' 은 빠르고 쉽게 연마 할 수 있게 해 준다. 연마 휠 (polishing wheel) 과 패드 (pad) 는 웨이퍼 및 기판의 균일 한 연마와 최소한의 재료 손상을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 마지막으로, 공구의 진공 발포 장치 (vacuum foaming unit) 는 연삭 및 연마 과정에서 우수한 조직 보호를 제공하며, 래핑 및 연마 표면을 오염시킬 수있는 먼지 입자를 제거합니다. 이렇게 하면 프로세스 잔류 (process residue) 없이 더 깨끗하고 정확한 서피스 마무리를 만들 수 있습니다. FREX-300은 고품질, 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 광범위한 복잡한 연마 어플리케이션에 뛰어난 성능과 일관성을 제공합니다.
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