판매용 중고 EBARA Frex 300 #9044488
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EBARA Frex 300은 반도체 산업을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 기계는 뛰어난 표면 마무리 및 평면 화 (planarization ofwork) 기능을 제공하는 기계 및 화학 연마 용량을 모두 제공합니다. EBARA FREX-300은 완전한 SPC 및 FDC 기능을 갖춘 자동 시스템입니다. 8 축 동작 제어 장치를 사용하여 빠르고 정밀한 표면 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 허용합니다. 일괄 운영 프로세스나 인라인 (in-line) 운영 라인에 맞게 시스템을 유연하게 구성할 수 있습니다. 이 기계는 특허를받은 웨이퍼 서스펜션 툴 (wafer suspension tool) 을 사용하여 연삭 및 연마 과정에서 웨이퍼를 안전하게 보관합니다. F-REX300에는 최대 300mm까지 웨이퍼를 처리 할 수있는 고출력 드라이브 헤드 (had-power drive head) 가 장착되어 있으며, 800G 정도의 그릿으로 양쪽에서 연마 및 연마 할 수 있습니다. 그것은 우수한 광택 표면 마무리를 보장하는 높은 정밀 연마 패드를 포함합니다. EBARA F-REX 300은 높은 사이클 속도로 고정밀도 및 부드러운 프로세스 결과를 위해 설계되었습니다. 파편 트랩 및 옵토 센서 시스템 (opto-sensor system) 을 포함하여 정확하고 반복 가능한 결과를 포함하여 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 이 기계는 Linux 기반 CNC 컴퓨터에 의해 구동되며, 웨이퍼 처리 프로세스를 완전히 자동화 할 수 있습니다. F-REX 300에는 안정적이고 반복 가능한 웨이퍼 로딩 및 포지셔닝을위한 진공 척 (vacuum chuck) 도 장착되어 있습니다. 이 자산은 실리콘, 갈륨 비소, 다이아몬드 등 다양한 웨이퍼 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 낮은 장비 유지 보수 및 서비스 비용을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 Frex 300은 Eco Mark 인증을 받았으며 필요한 모든 환경 및 안전 표준을 충족합니다. FREX-300은 속도, 정밀도, 유연성을 하나의 강력한 기계로 결합한 통합 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 솔루션입니다. 에바라 F-REX300 (EBARA F-REX300) 은 뛰어난 표면 마무리와 평면 화로 반도체 산업 생산 요구에 가장 적합한 선택입니다.
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