판매용 중고 EBARA Frex 300 #9008491
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판매
ID: 9008491
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
CMP system, 12"
FREX300, Ox, STI, BPSG, POLY:
MPTI Head, 12"
Ceramic Tables/Tool
Buff Tables/Tool
Atomizer
Scan Dresser/Tool
MPM
Main Table:
Four Line Slurry Supply
Slurry Flow Range -250 mL/min
Buff Table:
(2) Slurry Lines
Chemical Line in Polisher Type-Lifter, Pusher, Turn Over
1st Cleaner Mega-sonic 1 (Swing type)
Loadport / FOUP Asyst300FLS3 / Entegris
Carrier ID / Wafer ID TIRIS model MPT17 RF tag / SEMI T7 dot Matrix, SEMI M12/13 OCR, SEMI T1-95
C-2220-099-0001 Air Operation Valve
C-2220-032-0001 Air Operation Valve
Tube
Misc Parts
(2) RECM1
System hardware
Slip out sensor
(2) AI Head G2S
Base System
Options:
MC/TOOL
S-OPM
(2) Tables
NOVA 3030 Dry
2002 vintage.
EBARA Frex 300은 전문 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 고급 그라인딩 (Grinding), 랩핑 (Lapping) 및 연마 기능의 조합으로 가장 도전적인 웨이퍼 정밀 표면 처리 응용 프로그램을 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 특허를 받은 다중 축 (multi-axis) 모듈러 (modular) 장치를 사용하여 사용자가 웨퍼 처리 시스템을 특정 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. EBARA FREX-300 도구는 최대 200mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 최대 3 축 동시 이동 및 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 갖춘 강력한 스핀들 드라이브로 구성됩니다. 고급 고정 장치, 도구, 알고리즘을 사용하여 빠르고 효율적인 머시닝을 수행할 수 있습니다. 또한 종합적인 측정 패키지 (wafer processing) 를 사용하여 웨이퍼 처리 (wafer processing) 와 관련된 여러 분석 작업을 수행할 수 있습니다. F-REX300 (F-REX300) 에는 강력한 다이아몬드 그라인딩 휠 및 기타 도구가 포함되어 있어 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리를 제공합니다. 에셋은 고유한 고급 냉각 모델을 사용하여 연삭, 랩핑, 연마 작업 중 성능을 일관되게 보장하고 과열 (overheating) 을 방지합니다. 또한, 표면 품질 측면에서 전통적인 광택을 능가하는 다양한 특수 광택을 이용할 수 있습니다. 또한, 장비에는 고급 공정 제어 패키지 (Advanced Process Control Package) 가 장착되어 있어 연삭, 랩, 연마 작업을 정확하게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 이를 통해 일관되고 고품질의 성능과 최소한의 낭비가 가능합니다. 또한 고급 프로세스 시각화 장치 (옵션) 를 사용하여 머시닝 프로세스를 시각화하고 분석할 수 있습니다. F-REX 300 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계는 가장 도전적인 웨이퍼 표면을 처리하는 데 이상적인 강력하고 고급 도구입니다. 이 제품은 더 빠르고, 더 효율적이며, 비용 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리를 가능하도록 설계되었으며, 이는 정확한 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다.
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