판매용 중고 EBARA Frex 300 #293829696

EBARA Frex 300은 실리콘, 사파이어 및 기타 광학 재료의 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 전체 연삭 및 연마 프로세스 동안 최대 5축 (multi-axis control) 을 제공하기 때문에 정확하고, 균일하며, 예측 가능한 결과를 제공합니다. 이 장치는 회전 (rotary) 테이블을 사용하여 회전 (rotary) 테이블 속도의 일정하고 정밀한 조정으로 인해 더 높은 연삭 속도와 더 큰 웨이퍼-웨이퍼 (wafer-to-wafer) 일관성을 허용합니다. 연삭 테이블 (grinding table) 은 강력한 DC 서보 모터에 의해 구동되며, 웨이퍼 및 처리 부품에 대한 기계적 스트레스를 피하면서 정밀 연삭 및 랩핑을 보장합니다. EBARA FREX-300에는 3 개의 스테이션이 있으며, 각 스테이션에는 특정 스핀들 및 그라인딩 도구가 장착되어 있으며, 신속한 공구 변경 및 맞춤형 도구 시퀀스가 가능합니다. 또한, 기계는 공기 흐름 제어를 내장하여 웨이퍼 표면 처리 중 최적의 공기 흐름을 보장합니다. 공기 흐름 제어는 웨이퍼 (wafer) 표면의 먼지 접착을 제거하고 표면 정전기로 인해 상부 부분을 긁는 것을 피합니다. 더 나은 정확성을 위해, 주요 정밀 연삭 및 랩핑은 일반적으로 연마제 슬러리 그라인딩과 별도로 수행된다. 전자는 정확한 먹이 및 연삭 또는 연마 제어를 위해 디스크 조정 벨트를 사용합니다. 연마제 슬러리 그라인딩은 습식 환경에서 수행되며 온라인 슬러리 피드 (slurry feed) 도구를 사용하여 정확한 슬러링 조정과 정확성을 보장합니다. F-REX300에는 그라인딩 옵션이 사전 프로그래밍되어 있으며, 거친 그라인딩, 미세 그라인딩, 연마, 초 매끄러움 및 거울 표면 연마 등의 그라인딩 모드를 선택할 수 있습니다. 완전 자동화된 솔루션인 에셋 (Asset) 은 연삭 프로세스의 정확성과 반복성을 향상시키고 수동 미세 튜닝 (Fine Tuning) 을 방지하여 운영자 (Operator) 오류를 줄여줍니다. 마지막으로, FREX-300은 진동 댐퍼 (damper) 를 사용하여 연삭 과정에서 진동 및 기타 기계 관련 문제를 방지하도록 설계되었습니다. 이 모델은 친환경적이고, 에너지 효율적이며, LCD 터치 패널 디스플레이 및 기타 기능을 제공하여 운영자의 편리함과 정확성을 향상시키도록 설계되었습니다.