판매용 중고 EBARA Frex 300 #293816722

EBARA Frex 300은 최첨단 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. EBARA FREX-300 기반의 정교한 3축 자동화 시스템은 필요한 만큼 많은 웨이퍼 (wafer) 에 대해 정확하고 일관된 결과를 제공합니다. F-REX300의 그라인더 (Grinder) 와 래퍼 (Lapper) 는 모두 고유한 3축 기계식 분리 메커니즘을 통합하여 수동 처리 및 기타 수동 프로세스가 필요하지 않습니다. EBARA F-REX300의 그라인더는 최대 분쇄 속도가 95,000 rpm, 최소 크기는 40nm, 고밀도 해상도는 ± 20nm이며 프로세스 및 R&D 요구 사항에 완벽한 선택입니다. 에바라 F-REX 300 (EBARA F-REX 300) 의 연마 장치는 매우 미세한 웨이퍼를 처리하도록 설계되었으며 품질 제어로 고급 표면 마무리를 생성 할 수 있습니다. 연마 된 웨이퍼는 Ra 2.5 nm의 거칠고 약간의 Angstroms의 평평함에 도달 할 수 있습니다. FREX-300의 고정밀 자동 거울 연마 기계는 일관되고 고성능 결과를 보장합니다. 이 도구에는 0.1 nm (0.3 nm 로컬 편평도) 미만의 평평함 기능으로 빠르고, 반복 가능하며 고품질 랩핑 결과를 제공하는 표준 플랫 랩핑 프로세스도 포함되어 있습니다. 고급 랩핑을 지원하는 프리 턴 (Pre-Turn) 에셋 (옵션) 이 있으므로 원형성 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 통합 클리닝 모델 (Integrated Cleaning Model) 은 각 프로세스 전에 장비의 모든 컴포넌트가 깨끗하고 자유롭도록 합니다. F-REX 300에는 웨이퍼 품질 제어를 위한 포스트 프로세스 검사 모듈도 장착되어 있습니다. Frex 300은 청소실 친화적 인 운영의 요구 사항을 충족시키기 위해 고급 먼지가 들리지 않는 먼지가없는 버전으로 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 SEMI 표준을 준수하므로 대용량 생산에 적합합니다. 결론적으로 EBARA Frex 300은 고급 웨이퍼의 자동 정밀 연삭, 랩핑 및 연마에 이상적인 단위입니다. 정밀도가 높은 결과, 반복 가능한 성능 및 낮은 결함 속도를 제공합니다.