판매용 중고 EBARA Frex 300 #293809029
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EBARA Frex 300은 아트 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비의 상태입니다. 반도체 업계에서 웨이퍼에 정밀 표면을 만들고 유지하는 데 널리 사용됩니다. 처리량이 매우 높아 현재 가장 효율적인 시스템 중 하나입니다 (영문). EBARA FREX-300은 연삭 디스크와 랩핑 디스크로 구성되어 있으며, 둘 다 강력한 서보 모터로 구동됩니다. 이 모터는 고출력, 미세 튜닝 토크 제어, 뛰어난 안정성 및 반복 성을 제공 할 수 있습니다. 그라인딩 디스크 (grinding disk) 는 원하는 수준의 표면 정밀도를 달성하기 위해 웨이퍼에서 재료를 제거하도록 설계되었습니다. 그런 다음 랩핑 (lapping) 디스크를 사용하여 웨이퍼 서피스를 마무리하고 원하는 광택을 달성합니다. F-REX300은 6, 8 및 12 인치 웨이퍼를 처리하기 위한 다양한 구성과 도구를 갖춘 유연성을 위해 설계되었습니다. 단면 (Single Side), 양면 (Double Sided), 플랫 랩핑 (Flat Lapping) 및 프로파일링 (Profiling) 작업을 포함한 다양한 랩핑 및 연마 작업을 위해 구성할 수 있습니다. 칩 파손 및 스트레스를 줄이기 위해 옵션 롤러 시스템도 있습니다. 프렉스 300 (Frex 300) 에는 모듈식 유닛이 장착되어 있어 필요에 따라 개별 부품을 제거하고 교체할 수 있습니다. 스프레이 미스트 팬 (spray mist fan) 과 먼지 수집기 (dust collector) 를 포함한 안전 절차가 내장되어 있어 깨끗한 작업 환경을 유지합니다. EBARA F-REX300 은 직관적인 제어판과 메뉴 기반 소프트웨어로 작동 및 유지 보수가 용이합니다. 여기에는 비상 정지 (Emergency Stop) 및 긴급 재설정 (Emergency Reset) 단추를 비롯한 다양한 경고 설정이 포함됩니다. 이 기계는 또한 모든 범위의 센서와 피드백 시스템 (feedback system) 을 포함하고 있으며, 이를 통해 운영자는 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 도구는 웨이퍼에서 고품질 및 정밀도 서피스를 생성하기 위한 완벽한 선택입니다. 고급 디자인, 강력한 모터, 매우 직관적인 소프트웨어를 통해 가장 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 시스템 중 하나입니다.
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