판매용 중고 EBARA Frex 300 #293761442

EBARA Frex 300 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 고급 반도체 제조를위한 일체형 처리 솔루션입니다. 이 최첨단 시스템은 다중 축 동작을 통해 직경 300mm (wafer) 까지 높은 정밀도 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 기계 내부의 개발 된 터릿 스핀들 (spindle) 은 난기류를 줄이고 작업 전반에 걸쳐 정확한 움직임을 만들어 높은 수율 정확도와 우수한 마무리를 보장합니다. 단위 내에서, 플랫, 단면 그라인딩 휠을 사용하여 일관된 프로파일, 형상, 크기를 보장하기 위해 웨이퍼를 정밀하게 그라인딩합니다. 기계의 조작기는 각 웨이퍼의 안정성과 반복성을 보장합니다. 내장형 수냉식 (water cooling) 도구는 작동 중에 부품을 냉각시켜 열 응력을 감소시키는 데 사용됩니다. 다양한 그라인딩 휠, 랩 (lap), 광택 (polish) 을 작업 프로그래밍 중에 사용하고 빠르게 변경할 수 있으므로 유연성이 극대화됩니다. 랩핑은 "플래터 (platters)" 라고하는 사전 프로그래밍 된 회전 랩 메이트 (rotating lap mates) 를 사용하여 수행되는데, 여기에는 뛰어난 편평도를 생성하는 연마제가 포함되어 있습니다. 연마 스테이션은 부드럽고 거울과 같은 표면 마무리를 달성하기위한 마지막 단계를 설정합니다. 수술 후 자산은 자동으로 품질 관리 절차 (Quality Control Procedure) 를 수행하여 샘플을 검사하고 확인합니다. 이 작업은 저장된 표준 (stored standard) 과 데이터를 비교하여 모든 매개변수가 허용 가능한 한도 (acceptable limit) 내에 있는지 확인합니다. EBARA FREX-300은 인체 공학적 디자인과 함께 매우 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 사용자는 최소한의 노력으로 설정과 프로그램 작업을 쉽게 선택할 수 있습니다. 견고한 설계를 통해 유지 관리가 최소화되고, 케이블이 없는 연결을 통해 빠르고 쉽게 설치할 수 있습니다. 모델의 자체 진단 기능 (self-diagnostic feature) 은 모든 구성 요소가 제대로 작동하는지 확인하여 운영자가 장비의 성능을 모니터링하고 작업 (job at hand) 에 맞게 최적화할 수 있도록 합니다. F-REX300은 최대 300mm 크기의 웨이퍼를 높은 정확도 연삭, 랩핑 및 연마하기에 이상적인 시스템입니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 정확성, 유연성, 안정성을 결합하여 효율적이고 정확한 운영을 지원합니다.