판매용 중고 EBARA Frex 300 #293652216
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ID: 293652216
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
W-CMP System, 12"
(4) ASYST S2 load ports
Chemical connections (Bottom)
Exhaust connections (Top)
Gas connections (Bottom)
Drain connections (Bottom)
Polisher (L/R):
AL Polishing head, 12"
Endpoint: TCM and friction
Platen type: Ceramic (SIC), 10-150 RPM
Platen pad conditioner: Sweep driven, Scan dresser disc, 4”
CLC Slurry delivery
Slurry line1: ASAHI 25-250ml / min
TOKYO KEISO Platen cooling flow monitor
Platen cooling temperature monitor
Dresser DIW Flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Type 1: Roller brush
Chemical delivery type: (1) Chem CLC 0.0-1.0 L/min
Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Pencil brush spin rinse dryer
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: L-Side
Monitor 3: R-Side
EPD monitor: R-Side
(2) CPU:
Touch panel drawing and control version: 7.5.00
ME10 / ME20
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (process database): Touch panel
2001 vintage.
EBARA Frex 300은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 극도의 정밀도를 제공하며, 최대 0.5 um 마무리 및 고속 작동을 통해 효율적인 생산이 가능합니다. 이 시스템은 최적의 결과를 위해 초저전력 연마 장치 (Ultra-Low Force Polishing Unit) 를 사용하며, 다양한 유형과 크기의 재료를 처리하기 위해 가변 속도 프로그래밍 가능한 턴테이블을 제공하여 유연성을 극대화합니다. 스테인레스 스틸, 부식 내성 케이지, 층류 공기 흐름 후드가있는 청소실 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 기계는 6 축 로봇, Advanced CNC 그라인더 및 트윈 디스크 랩핑 암으로 구성됩니다. 로봇은 웨이퍼를 움직이고, 한 번에 4 개의 웨이퍼로 작동 할 수 있으며, 2 개의 선형 축과 2 개의 회전 축이 장착되어 있습니다. 정밀 제어 및 빠른 처리 속도를 제공하는 서보 모터를 통해 CNC 그라인더와 통합됩니다. CNC 그라인더에는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마에 이상적인 고정밀 테이블이 포함되어 있습니다. 트윈 디스크 랩핑 암 (twin-disc lapping arm) 은 플랫 및 컨투어 페이스 플레이트를 사용하여 플랫 및 곡면 모두를 정확하게 다듬어 정밀도 제어를 가능하게하고 주기 시간을 최소화합니다. 또한 다양한 애플리케이션을 위한 다양한 맞춤형 옵션을 제공합니다 (영문). 다양한 크기의 웨이퍼 플랫폼을 수용하도록 구성 할 수 있으며, 웨이퍼 클리닝 스테이션 (Wafer Cleaning Station), 압력 제어 밸브 (Pressure Control Valve) 및 공기 나이프 (Air Knive) 가 장착되어 웨이퍼를 효율적으로 전송할 수 있습니다. 또한, 다른 랩핑 디스크, 척 조 (Chuck jaws) 및 기타 액세서리와 같은 추가 기능으로 자산을 확장 할 수 있습니다. EBARA FREX-300은 간단하고 쉬운 작동을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 운영자 안전 및 보호를 위한 다양한 안전 (safety) 기능을 제공하며, 높은 정확도, 신뢰성, 효율성을 갖춘 탁월한 제작 결과를 제공할 수 있습니다.
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