판매용 중고 EBARA Frex 300 #293641964

EBARA Frex 300
ID: 293641964
Tungsten CMP system.
EBARA Frex 300 Wafer Grinding, Lapping and Polishing Equipment는 다양한 웨이퍼 재료를 연마 및 연마하기위한 자동 시스템입니다. 이 장치에는 최대 60,000 RPM의 A6k-XP 고속 스핀들이 포함되어 있으며, 연삭 및 연마를위한 2 개의 축이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 그라인더 (wafer grinder) 는 정밀 연삭 (precision grinding) 에 대한 서브 미크론 (sub-micron) 정확도가 가능하며 효율성과 컴포넌트 품질을 향상시키는 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 진공 장치, 공랭식 스핀들, 벨트 그라인딩, 트랙 자동 로드 및 언로드 기능 (옵션), 항목별 실시간 구성 요소 정보, 수온 제어 및 타이머가 포함됩니다. EBARA FREX-300은 200mm 및 300mm 직경 웨이퍼, 다중 재료 웨이퍼 유형 및 단단하고 끈적한 기판을 효과적으로 처리하도록 설계되었습니다. "와퍼 '직경 보다 더 큰" 샘플' 크기 를 수용 할 수 있도록 조정 가능 한 "카아펫 '과 연마" 패드' 를 갖추고 있다. 고속 스핀들 (spindle) 은 빠르고 매우 정밀한 연삭 과정을 보장하는 반면, 테벨 머신은 빠르고 효율적인 재료 전송을 보장합니다. 또한 자동 로드/언로드 (Autoload/Unload) 기능 (옵션) 을 통해 수작업 없이 여러 웨이퍼를 신속하게 구성 요소 로드 및 언로드할 수 있어 생산성을 높이고 인건비를 절감할 수 있습니다. 이 도구에는 컴포넌트 모서리 위치를 감지하고 연삭 및 연마 프로세스를 최적화하는 고정밀 CCD 센서가 포함되어 있습니다. 가변 속도 스핀들 (variable speed spindle) 은 다양한 웨이퍼 재료와 두께를 수용하도록 속도를 조정할 수 있으므로 컴포넌트 손상을 줄일 수 있습니다. 제어 장치 (Control Unit) 에는 에셋을 쉽게 관리하고 모니터링할 수 있는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 장착되어 있습니다. 내장 온도 제어 모델은 열 마모를 줄이고 웨이퍼가 과열되지 않도록 보호합니다. F-REX300 Wafer Grinding, Lapping 및 Polishing Equipment는 광범위한 재료와 기판 크기를 정확하고 효율적으로 처리 할 수있는 잘 설계된 시스템입니다. 정확한 CCD 에지 감지 센서와 가변 속도 스핀들 (variable speed spindle) 을 통해 장치가 고정밀 결과를 얻고 구성 요소 손상을 줄일 수 있습니다. 자동 로드/언로드 기능 (옵션) 과 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 통해 시스템이 운영 자동화 및 실험실 애플리케이션에 이상적입니다.
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