판매용 중고 EBARA Frex 300 #293606132
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ID: 293606132
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
CMP System, 12"
EFEM (Load/Unload):
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Electric robot
Position control: Motor + Ball screw
Dry robot
Wafer transfer:
(2) Turn overs (R/L Side)
(2) Pushers (R/L Side)
(4) LTP Linear stages (R/L Side)
(2) Lifters (R/L Side)
Wafer stage (R/L Side)
Wet robot
Polishers:
(2) Top ring normal heads
(2) Buffing tables
Slurry line
Chemical (CL) connection
Return Line
(2) Dressers (R/L Side):
Diamond pattern type
Disk type: Plate
(2) Tables (R/L Side):
Material stainless steel
Lapping surface
Motor
(2) Cleaners:
1st Cleaner:
(2) Roll scrubs
(2) Megasonics
Wafer roller: Duro 90
SC-1 < 60°C
2nd Cleaner (Pencil and SRD Unit):
(2) Roll scrubs
Megasonic
Power control unit:
Power control
(4) Drivers:
Head rotation
Head swing
Operation controller (ETC):
Hardware:
VME Bus, board computer
Main CPU: 68 Series 32 Bit
2001 vintage.
EBARA Frex 300은 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 서피스 거칠기, 서피스 평판 및 두께를 단단히 제어하여 단면 및/또는 양면 광택 웨이퍼를 생성하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 초정밀 연삭, 랩핑 또는 연마 작업을 수행 할 때 뛰어난 제어성을 제공합니다. EBARA FREX-300 (EBARA FREX-300) 은 작동 중 연삭, 랩핑 또는 연마 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 고급 디지털 제어 장치를 갖추고 있습니다. 부드럽고, 낮은 진동 및 고속 회전을 제공하는 고출력 소니 스핀들 모터 (Sony spindle motor) 가 포함되어 있어 균일 한 결과를 보장합니다. 이 기계는 또한 부드럽고 진동이없는 연삭, 랩핑 또는 연마 작업을 허용하는 고급 공기 베어링을 갖추고 있습니다. F-REX300은 3 축 스테이지 모듈이있는 6 축 로봇 동작 도구에서 작동합니다. 강력한 로봇 자산은 반복 가능한 결과를 위해 정확하고 반복 가능한 자동 연삭, 랩핑 또는 연마 작업을 제공합니다. 로봇 모션 모델은 프로세스 제어 및 안전을 향상시키기 위해 완전히 동봉됩니다. 이 장비에는 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 또는 연마 (polishing) 작업을 사용자 정의하는 데 사용할 수있는 통합 소프트웨어 구성 요소가 포함됩니다. 통합 소프트웨어를 사용하면 그라인딩 매개 변수를 쉽고 빠르게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 시스템 작업을 쉽게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어에는 데이터 저장 장치 (data storage unit) 가 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 나중에 검토할 수 있도록 과거 그라인딩 및/또는 연마 작업의 데이터를 저장할 수 있습니다. 기계는 광범위한 연삭, 랩핑 및 연마 소모품을 갖추고 있습니다. 소모품은 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 연삭 도구는 거친 연삭, 미세 연삭, 랩핑, 연마 등 다양한 작업을위한 다양한 재료로 만들어집니다. 랩핑 및 연마 도구는 세라믹 및 다결정 다이아몬드와 같은 탄력성 물질로 만들어져 균일 한 결과를 얻습니다. EBARA F-REX300에는 두 가지 응용 프로그램별 구성 요소 (옵션 연마 저장 카세트 및 연마 카세트) 가 있습니다. 연마 카세트는 연삭 재료를 쉽게 적재 및 언로드하도록 설계되었습니다. 연마 "카세트 '는 연마" 에이전트' 를 균일 하게 적용 하여 정확 하고 반복 할 수 있도록 설계 되었다. 프렉스 300 (Frex 300) 은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 공정을 정확하게 제어하도록 설계된 고가용성 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 고급 디지털 컨트롤 자산, 고출력 Sony 스핀들 모터, 에어 베어링 및 로봇 모션 모델, 통합 소프트웨어 구성 요소, 다양한 그라인딩, 랩핑 및 연마 소모품 등이 있습니다. 2 개의 응용 프로그램 별 카세트는 연삭 재료와 연마 제를 쉽게 로드 및 언로드하여 일관되고 반복 가능한 결과를 제공합니다.
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