판매용 중고 EBARA Frex 200 #9362887

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ID: 9362887
Chemical Mechanical Planarization (CMP) system EFEM: Load port: (2) EBARA (2) TAKA YASKAWA Robot Position control: Motor + LM Guide (Harmonic gear) Wafer transfer: Wafer station: (2) Transporters Turn over 1 Turn over 2 (2) Pushers L, R (2) Lifters L, R RTP Polishing unit: Top ring: Retainer ring Head type: MPTI Head missing Dresser: (2) Diamond disks (2) Air balance types Table: (2) Stainless steel materials (2) Lapping surfaces (2) KOYO Motors Rotation: Polisher L, R Slurry line: (2) Standards Option Roller pump system L and R polisher missing Cleaner 1: Method: (2) Roll scrubs (Upper and lower roller) Mega sonic: (2) Mega jets (Upper and lower roller) Wafer roller: Hardness: (8) Duro90 Cleaner 2: Method: (2) Pencil + SRD Bevel sponge: (2) Pencil sponges (2) SRD Dryers Operation: ETC: Position: Front, L Side, R Side (3) Touch Monitors, 15" Option: End point monitor: (2) TCM: L Side, R Side MPM8F Controller ITM APC / CLC: BC, FS Atomizer Utility: DIW (5) Upper exhaust connections 2000 vintage.
EBARA Frex 200은 반도체 웨이퍼에서 매우 정확하고 신뢰할 수있는 표면 마무리를 생성하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 정교한 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 기술을 활용하여 기판 표면 마감에는 장치 수율에 영향을 줄 수있는 결함 및 입자가 없습니다. EBARA FREX200 시스템은 기존의 연삭 및 연마 시스템에 비해 몇 가지 장점을 자랑합니다. FREX-200은 독점적 인 동기화 모션 메커니즘과 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 를 활용하는 고정밀 그라인딩 헤드 (grinding head) 를 자랑합니다. 이는 연삭 공정 (grinding process) 에서 우수한 정확도와 장치 제작에서 더 높은 수율 및 품질 수준을 가능하게합니다. 전체 장치는 손쉽게 설치하고 작동할 수 있도록 설계되었으며, 사용자에게 친숙한 터치 패널과 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 프렉스 200 머신 (Frex 200 machine) 은 정밀 랩핑 및 연마 기술로 기계적으로 연마하는 것보다 기판에서 더 부드러운 마무리를 제공합니다. "랩핑 '판 들 은 결함 을 줄이고 기판 표면 을 균일 하게 유지 하는 데 도움 이 되는 특별 한 연마" 슬러리' 로 입힌 반면, 연마 하는 머리 는 계속 회전 한다. 따라서 고품질의 균일 한 표면 마무리를 제공합니다. F-REX200에는 먼지 제거를위한 에어 나이프 (air knife) 도 있으며, 이 도구는 깨끗한 작업 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 에셋은 연삭, 랩핑 및 연마 공정에서 재생성을 보장하는 닫힌 루프 (closed-loop) 제어 모델을 특징으로합니다. 첨단 센서 모니터링 및 검사 기능을 제공하며, 최첨단 이미지 처리 기술을 통해 결함이 없는 제조 (Zero-Defect Manufacturing) 를 지원합니다. 이 장비는 또한 스마트 온도 조절 시스템 (Smart Temperature Control System) 으로 설계되어 생산이 진행되는 동안 온도가 일관되게 유지되므로 안정적인 제조 공정 (Manufacturing Process) 및 장치 품질 (Device Quality) 을 전반적으로 FREX200은 고도로 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 프로세스에서 탁월한 제어 및 균일성을 제공하여 사용자가 매우 정확하고 고품질 장치 제작 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 매우 자동화되어 효율적이고 사용자 친화적입니다. EBARA FREX-200 (EBARA FREX-200) 은 장치 생산의 품질과 높은 수율을 보장하기 위해 안정적이고 정확한 툴이 필요한 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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