판매용 중고 EBARA Frex 200 #9362887
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
![EBARA Frex 200 사진 사용됨 EBARA Frex 200 판매용](https://cdn.caeonline.com/images/ebara_frex-200_1467261.jpg)
![Loading](/img/loader.gif)
판매
ID: 9362887
Chemical Mechanical Planarization (CMP) system
EFEM:
Load port:
(2) EBARA
(2) TAKA
YASKAWA Robot
Position control: Motor + LM Guide (Harmonic gear)
Wafer transfer:
Wafer station: (2) Transporters
Turn over 1
Turn over 2
(2) Pushers L, R
(2) Lifters L, R
RTP
Polishing unit:
Top ring:
Retainer ring
Head type: MPTI
Head missing
Dresser:
(2) Diamond disks
(2) Air balance types
Table:
(2) Stainless steel materials
(2) Lapping surfaces
(2) KOYO Motors
Rotation: Polisher L, R
Slurry line:
(2) Standards
Option
Roller pump system
L and R polisher missing
Cleaner 1:
Method: (2) Roll scrubs (Upper and lower roller)
Mega sonic: (2) Mega jets (Upper and lower roller)
Wafer roller:
Hardness: (8) Duro90
Cleaner 2:
Method: (2) Pencil + SRD
Bevel sponge: (2) Pencil sponges
(2) SRD Dryers
Operation:
ETC:
Position: Front, L Side, R Side
(3) Touch Monitors, 15"
Option:
End point monitor:
(2) TCM: L Side, R Side
MPM8F Controller
ITM
APC / CLC: BC, FS
Atomizer
Utility:
DIW
(5) Upper exhaust connections
2000 vintage.
EBARA Frex 200은 반도체 웨이퍼에서 매우 정확하고 신뢰할 수있는 표면 마무리를 생성하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 정교한 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 기술을 활용하여 기판 표면 마감에는 장치 수율에 영향을 줄 수있는 결함 및 입자가 없습니다. EBARA FREX200 시스템은 기존의 연삭 및 연마 시스템에 비해 몇 가지 장점을 자랑합니다. FREX-200은 독점적 인 동기화 모션 메커니즘과 다이렉트 드라이브 모터 (direct drive motor) 를 활용하는 고정밀 그라인딩 헤드 (grinding head) 를 자랑합니다. 이는 연삭 공정 (grinding process) 에서 우수한 정확도와 장치 제작에서 더 높은 수율 및 품질 수준을 가능하게합니다. 전체 장치는 손쉽게 설치하고 작동할 수 있도록 설계되었으며, 사용자에게 친숙한 터치 패널과 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 프렉스 200 머신 (Frex 200 machine) 은 정밀 랩핑 및 연마 기술로 기계적으로 연마하는 것보다 기판에서 더 부드러운 마무리를 제공합니다. "랩핑 '판 들 은 결함 을 줄이고 기판 표면 을 균일 하게 유지 하는 데 도움 이 되는 특별 한 연마" 슬러리' 로 입힌 반면, 연마 하는 머리 는 계속 회전 한다. 따라서 고품질의 균일 한 표면 마무리를 제공합니다. F-REX200에는 먼지 제거를위한 에어 나이프 (air knife) 도 있으며, 이 도구는 깨끗한 작업 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 에셋은 연삭, 랩핑 및 연마 공정에서 재생성을 보장하는 닫힌 루프 (closed-loop) 제어 모델을 특징으로합니다. 첨단 센서 모니터링 및 검사 기능을 제공하며, 최첨단 이미지 처리 기술을 통해 결함이 없는 제조 (Zero-Defect Manufacturing) 를 지원합니다. 이 장비는 또한 스마트 온도 조절 시스템 (Smart Temperature Control System) 으로 설계되어 생산이 진행되는 동안 온도가 일관되게 유지되므로 안정적인 제조 공정 (Manufacturing Process) 및 장치 품질 (Device Quality) 을 전반적으로 FREX200은 고도로 고급적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 프로세스에서 탁월한 제어 및 균일성을 제공하여 사용자가 매우 정확하고 고품질 장치 제작 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 매우 자동화되어 효율적이고 사용자 친화적입니다. EBARA FREX-200 (EBARA FREX-200) 은 장치 생산의 품질과 높은 수율을 보장하기 위해 안정적이고 정확한 툴이 필요한 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다