판매용 중고 EBARA Frex 200 #293819847

ID: 293819847
웨이퍼 크기: 8"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 8" (2) Chambers HF Supply.
EBARA Frex 200은 우수한 웨이퍼 처리 속도를 위해 설계된 다목적 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. EBARA FREX200 은 대화식 제어 (interactive control) 와 최신 기술의 독특한 조합을 활용하여 속도, 정확도, 유연성을 완벽하게 결합합니다. FREX-200은 직경이 최대 200mm, 두께가 최대 50mm 인 다양한 웨이퍼 (wafer) 를 연삭 및 포장하여 웨이퍼 제작 요구에 이상적입니다. 이 기계는 가변 속도 DC 모터를 사용하여 최대 토크 제어 (torque control) 를 제공하며, 무거운 기판 또는 재료를 직면 할 경우에도 양방향으로 최대 200mm/min의 이송 속도를 쉽게 처리 할 수 있습니다. 프렉스 200 (Frex 200) 은 하이 토크 모터 외에도 고급 3 축 CNC 제어를 장착하여 최적의 표면 일관성을 위해 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 내장 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 모듈은 서피스 레이어를 연마 및 랩핑하고, 연마 준비를 위해 상단 및 하단 서피스를 매끄럽게 만드는 효율적이고 효과적인 방법을 제공합니다. 이 모듈은 최신 다이아몬드 그라인딩 휠, 와이어 랩핑 플레이트, 연마 패드 (최대 10 개의 헤드 및 8 개의 그라인딩 속도) 를 사용하여 균일하고 부드러운 표면을 제공합니다. 또한, 압력 피드백 센서가 연삭 및 랩핑 (grinding and lapping) 모듈에 통합되어 프로세스 중에 압력이 일관되게 적용되도록 합니다. FREX200의 통합 연마 시스템은 3 축 접근 방식을 사용하여 최대 200mm 크기의 웨이퍼를 연마 및 광택있게 만듭니다. 이 모듈에는 다양한 연마 패드 (polishing pad) 와 스크래치 제거 도구 (scratch removal tools) 가 포함되어 있으며, 잔류 오염 물질을 제거하고 표면 마무리에서 가장 높은 정확도를 보장하는 데 이상적입니다. EBARA FREX-200 에 포함된 자동 모니터링 장치 (Automated Monitoring Unit) 는 시스템의 전반적인 기능과 성능에 대해 명확하고 상세한 개요를 제공합니다. 기계는 모든 매개변수를 모니터하고 결과를 읽기 쉬운 차트 (읽기 쉬운 차트) 로 시각화합니다. 이 차트는 장치에 표시되며 웹 인터페이스를 통해 원격으로 표시됩니다. 이 기능은 사용자에게 현재 그라인딩 (grinding) 및 연마 작업에 대한 실시간 피드백을 제공하여 빠르고 잘 알려진 의사 결정을 가능하게 합니다. 요약하면, EBARA F-REX200은 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구이며, 고급 DC 모터, CNC 컨트롤 및 내장 그라인딩 및 랩핑 모듈이 장착되어 있습니다. 이 프리미엄 머신 (Premium Machine) 은 인상적인 절단 속도와 함께 높은 정밀도를 제공하여 표면-완벽한 웨이퍼 (surface-perfect wafer) 생산에서 빠르고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.
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