판매용 중고 EBARA Frex 150 #293660146

EBARA Frex 150 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다기능 장비는 반도체 및 MEMS 장치 기술의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하는 고성능 다기능 솔루션입니다. 가장 단단한 종류의 실리콘 웨이퍼를 연마, 랩핑 및 연마하기 위해 특별히 설계된 Frex 150은 400-2,000 RPM의 다양한 설정과 최대 연삭 압력 (2.2x106 N/m2) 의 뛰어난 품질을 제공합니다. EBARA Frex 150에는 유압 동력 그라인딩 헤드, 직경 150mm Schottky 웨이퍼 척 및 대형 진공 척이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 상단 연삭, 랩핑, 연마 판과 연삭 압력 (Grinding Pressure and Support) 분배를위한 하단 베이스 플레이트로 제작되었습니다. 특수 센서 게이지 제어 (Sensor Gauge Control) 를 사용하면 정밀하고 상세한 연삭, 랩 및 연마를 위해 랩핑 플레이트에 웨이퍼를 배치할 때 미리 설정된 매개변수를 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 큰 공기 퍼지 머신 (air purge machine) 이 장착되어 있는데, 이 머신은 연삭 및 연마 부분에서 공기 물질을 제거하여 오염을 줄이고 연삭/연마 성능을 최적화합니다. 또한, 자동 재순환 도구 및 3 중 여과 자산 (triple filtration asset) 을 사용하면 연삭 및 연마에 사용되는 액체를 쉽고 깨끗하게 여과할 수 있습니다. 프렉스 150 (Frex 150) 에는 연삭 및 연마 공정에 사용되는 재료의 온도 조절 및 모니터링을위한 온도 제어 패널이 제공됩니다. 또한 EBARA Frex 150에는 특수 "프로파일 추적 (profile tracking)" 소프트웨어가 포함되어 있어 연삭 및 연마 매개 변수를 사전 설정하고 저장할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 반복 가능한 서피스 마무리 프로파일과 일관된 재료 제거 속도 (material removal rate) 를 달성 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 광범위한 표면 거친 탐지 (surface roughness detection) 를 허용하며, 연삭 및 연마 과정에서 어떤 변화가 필요한지 확인할 수 있습니다. 마지막으로, 프렉스 150 (Frex 150) 은 강력한 구조적 설계와 낮은 소음 수준, 낮은 입자 배출, 뛰어난 마감 효과를 보장하는 신중하게 설계된 구성 요소 덕분에 높은 생산성 어플리케이션에 적합합니다.