판매용 중고 EBARA EPO-223 #293636272

EBARA EPO-223은 전문적인 등급의 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 시스템 설계는 사용자가 전체 웨이퍼 (wafer) 생산 프로세스를 빠르고 쉽게 수행할 수 있도록 완전히 자동화되었습니다. 이 장치는 정밀 제어, 고속 스핀들 (spindle) 을 사용하여 직경이 최대 300mm 인 연삭, 랩 및 광택 웨이퍼를 사용합니다. 이 기계는 로봇 웨이퍼 로더와 카세트 포지셔너 (Cassette Positioner) 를 갖추고 있어 주기 시간을 줄입니다. 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 의 도움을 받아 랩 플레이트의 크기와 회전 속도 (rotational speed) 를 조정하여 응용 프로그램과 재료에 대한 정확도를 높일 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch), 라이트 커튼 (Light Curtain) 및 인터 록 (Interlock) 과 같은 고급 안전 기능이 장착되어 운영자의 안전을 보장합니다. 자산의 설계에는 전용 먼지 제어 (dust control) 기능도 포함되어 있어 환경을 최적의 청소 실 사양 내에 보관할 수 있습니다. 그라인딩을 위해, 모델은 스스로 웨이퍼를 프로파일하도록 프로그래밍 된 3 축 스핀들을 장착한다. 스핀들은 높은 토크 모터에 의해 구동되며, 최대 22,000 rpm의 속도를 달성 할 수 있습니다. 연삭 헤드는 다양한 웨이퍼 크기, 재료 및 공정 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. 또한 스핀들 (spindle) 에는 가속도계 기반 속도 제어 장비가 장착되어 연삭 공정의 정밀도를 더욱 향상시킵니다. EPO-223의 설계를 통해 사용자는 웨이퍼를 효과적이고 빠르게 랩 할 수 있습니다. 이 시스템은 초정밀 공기 베어링 (air bearing) 을 사용하여 랩 테이블과 캐리지의 회전을 높은 수준의 정확도로 제어합니다. 랩 테이블 (lap table) 은 공압 적으로 구동되도록 만들어졌으며, 랩핑 중에 웨이퍼를 안전하게 보관하기 위해 진공 컵 펌프로 설계되었습니다. 또한, 랩 플레이트를 조정하여 다른 재료에 대한 최적의 결과를 보장 할 수 있습니다. 연마 과정은 장치의 자동 연마 헤드를 통해 처리됩니다. 연마 헤드는 3 ~ 300mm 크기의 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계된 조정 가능한 연마 패드를 특징으로합니다. 이 기계는 또한 6 축 로봇 암과 균일 제어 (uniformity control) 를위한 연마 기계를 통합하여 일관된 연마 마무리를 보장합니다. 로봇 암에는 디지털 제어 엔드 이펙터 (digitally-controlled end effector) 도 장착되어 있어 프로세스를 자동화하고 주기 시간을 줄이는 데 도움이됩니다. EBARA EPO-223은 우수한 성능과 안정성을 제공하기 위해 프리미엄 그레이드 (Premium-Grade) 소재 및 구성 요소로 제작되었습니다. 이 툴은 CE, UL 및 ESD 인증을 준수하며, 이 툴을 사용하는 것이 안전하다는 것을 보장합니다. 또한 EPO-223은 포괄적인 무상수리가 지원되므로 장기적인 안심할 수 있습니다.