판매용 중고 EBARA EPO-222T #9412401

EBARA EPO-222T
ID: 9412401
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CMP System, 12" 2004 vintage.
EBARA EPO-222T는 최적의 생산 효율성과 뛰어난 제품 품질을 위해 설계된 고급형 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 이 비용 효율적인 시스템은 최첨단 파형 생성 컨트롤, 최첨단 그라인딩 기술, 정밀 머시닝을 위한 이중 축 스핀들 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 고속 처리 기능과 다양한 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션 (microelectronics application) 을 위한 자동 연삭 및 연마 기능을 제공합니다. EBARA EPO222T의 구성 요소에는 전체 너비, 3 피트 길이의 처리 챔버 및 안전하고 효율적인 작동을위한 상단 로딩, 로봇 작업 영역이있는 완전 밀폐, 사전 설계 된 공정 챔버가 포함됩니다. 이 기계는 또한 2 개의 하이 토크 동기 모터와 서보 모터를 조합하여 뛰어난 정확도, 반복 가능성, 고속 작동을 제공하는 3 축 동작 제어 도구를 갖추고 있습니다. 고급 그라인딩 스핀들 (grinding spindle) 설계는 견고하고 일관된 표면 마무리 성능을 보장하는 고성능 모터를 통해 피드 레이트와 속도를 정확하게 제어합니다. 손쉬운 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 와 직관적인 그래픽 프로그래밍 소프트웨어 (Graphical Programming Software) 를 통해 연산자는 프로세스 매개변수를 빠르게 설정하고 버튼을 누르고 머시닝 매개변수를 조정할 수 있습니다. 고급 도구 정렬 에셋은 최소한의 운영자 개입으로 우수한 결과를 보장합니다. EPO 222T는 또한 안전 매트, 라이트 커튼, 운영자 인터 록 (interlock) 및 깨끗하고 안전한 작동을위한 지속적인 다운 룩 기능을 갖춘 자동 안전 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비는 자동화된 데이터 수집 시스템 (Data Collection System) 과 완벽하게 통합되어 운영자가 추가 분석을 위해 프로세스 데이터를 저장, 모니터링할 수 있게 해 줍니다. 이 장치는 또한 자동 조절 후퇴 장치 (self-regulating retraction machine) 를 갖추고 있으며, 최적의 성능을 위해 빠르고 안전하게 클램프, 잠금 및 정렬 할 수 있습니다. 마지막으로, 이 도구는 HEPA 여과 및 안전 증대를 위한 원격 모니터링을 갖춘 고급 먼지 수집 에셋을 갖추고 있습니다. EBARA EPO 222T의 고급 기능, 견고한 구성, 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 다양한 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램에서 연삭, 랩핑 및 연마를위한 완벽한 솔루션입니다. 이 경제적이고 안정적인 모델은 운영자의 개입을 최소화하면서 탁월한 결과를 제공합니다. 정확하고 반복 가능하며 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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