판매용 중고 EBARA EPO-222T #9357639

EBARA EPO-222T는 고급 기판을 제조 및 수리하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 분쇄, 랩핑 및 연마 정확도 및 효율성을 극대화하는 회전 스핀들 시스템 (rotary spindle system) 이 특징이며, 정확도는 ± 5äm, 해상도는 0.01äm입니다. 이 장치는 최대 0.5 mm 의 스텝 높이로 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. EBARA EPO222T는 0-1,000 rpm의 안정적인 회전 속도를 유지하는 고품질 스핀들 설계를 특징으로합니다. 6축, CNC 제어 구성은 정확한 연삭, 랩, 연마 프로세스를 위해 랩핑 도구를 쉽게 설치할 수 있습니다. 이 기계는 또한 빠르고, 쉽고, 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 가능하게하기 위해 추가 축의 자유 이동을 제공합니다. 이 도구는 직접 구동 모터, 미세 모터 속도 제어를위한 AC 주파수 인버터, Z축 액추에이터, 스핀들 헤드, 인덱싱 척 및 연마 장치로 구성됩니다. 적응력이 높은 자산은 사용자의 프로세스 요구사항에 따라 여러 가지 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 조건이 가능합니다. 스핀들 헤드 (spindle head) 는 피드백 제어를 위한 로터리 인코더로 설계되어 일정한 속도와 토크 제어를 가능하게 합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 균일 하게 접지 되고 가장 높은 정확도 와 표면 질 로 연마 된다. 인덱싱 척에는 광학 인코더 (optical encoder) 와 정밀 머시닝 캠 프로파일 (precision-machined cam profile) 이 장착되어 있어 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한 빠르고 정확한 랩핑 도구, 연마 벨트 및 롤러 변경을 허용합니다. 연마 설비 는 강자성 설계 로 설계 되어 "웨이퍼 '를 회전 할 수 있는" 테이블' 위 에 고정 시킨다. 이렇게 하면 "와퍼 '가 연삭 과 연마 과정 중 에 안전 하게 보관 되어 최적 의 결과 를 얻게 된다. 단순하지만 사용자 친화적 인 디자인 외에도, 이 모델은 탁월한 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 및 자석 제동 장비 (Magnetic Braking Equipment) 와 같은 고급 안전 기능으로 작동 중 안전을 보장합니다. EPO 222T는 고급 기판을 생산 및 수리하는 데 이상적인 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 견고한 스핀들 디자인과 최대 7 축의 동작 (motion) 을 제공하여 정확성과 효율성을 극대화합니다. 안전성 (Safety) 기능을 통해 제품의 안정성과 성능을 보장할 수 있습니다. 이 장치 의 고품질 은 고급 "기판 '을 제작 하고 수리 하는 데 이상적 인 선택 이다.