판매용 중고 EBARA EPO-222T #9238850

EBARA EPO-222T는 각 응용 프로그램에 뛰어난 결과를 제공하는 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 기계 는 "실리콘 웨이퍼 '의 정밀 연삭," 랩핑' 및 연마 와 관련 된 공정 과 함께 사용 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 Si, SiC 및 GaN을 포함한 다양한 기판에 적용 될 수 있습니다. EBARA EPO222T (Multi-Steping Design) 는 다양한 직경, 두께 및 재질의 웨이퍼를 효율적이고 반복 가능한 마무리로 처리 할 수있는 멀티 스테핑 설계를 특징으로합니다. 기본 장착 4 축 CNC 컨트롤러, 그라인딩/랩핑 헤드 및 다양한 주변 장치 하위 시스템이 장착 된 주 주택 프레임으로 구성되어 있습니다. 연삭/랩핑 헤드는 조절 가능한 속도와 피드 (feed) 가있는 무거운 스핀들 (heavy-duty spindle) 로 구성되며, 사용자가 응용 프로그램에 따라 연삭/랩핑 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 장치는 저소음 작동 환경을 자랑하여 최대 95 dB (A) 의 소음 보호를 허용합니다. 진동을 줄이기 위해 보조 선외 스핀들 드라이브가 사용됩니다. 또한 고강도 조명 머신 (Lighting Machine) 을 통해 사용자는 프로세스를 정확하고 자세히 관찰 할 수 있습니다. 또한, 최대 운영 안전을 보장하기 위해 일련의 안전 경비원이 제공됩니다. EPO 222T에는 단일 패스로 웨이퍼에서 연마 된 마무리를 달성 할 수있는 원심 연마 휠 (centrifugal polishing wheel) 이 장착되어 있습니다. 전체 자동 연마 모드는 조정 가능한 스핀 속도, 조정 가능한 회전 속도, 조정 가능한 연마 압력과 같은 고급 기능을 제공하여 사용자가 최고의 최종 광택 품질을 얻을 수 있도록 도와줍니다. 이 도구는 사용이 쉽고 빠르고 효율적입니다. 각 사용자의 고유한 애플리케이션 요구 사항에 맞게 수동 (manually) 또는 다양한 매개변수로 프로그래밍할 수 있습니다. 마지막으로, 전체 자산은 작은 밀폐 된 댐핑 커버 (dampening cover) 에 보관되며, 먼지 분산을 최소화하기 위해 진공 먼지 수집 장치 (옵션) 가 있습니다.