판매용 중고 EBARA EPO-222T #293662648
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EBARA EPO-222T는 반도체 및 기타 비금속 기판과 함께 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 견고하고 안정적인 설계를 통해 일관성 있고 높은 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 크기와 두께가 다른 기판을 처리하도록 조정되었으며 웨이퍼 라이닝 (wafer thinning), 연마 (polishing), 서피스 그라인딩 (surface grinding) 및 에지 그라인딩 (edge grinding) 을 포함한 다양한 작업에 사용할 수 있습니다. 기계는 주 2 축 조절 테이블과 3 축 로봇 팔로 구성됩니다. 2축 조정 가능 테이블 (two-axis adjustable table) 을 사용하여 기판을 배치하고 작업공간에서 이동하며, 연마/연삭 연산을 기울이고 최적화할 수 있습니다. 로보틱 암 (robotic arm) 은 직경이 최대 200mm 인 기판을 처리하는 데 사용될 수 있으며, 작업공간 내에서 기판을 정확하고 반복 할 수 있습니다. 에바라 EPO222T (EBARA EPO222T) 는 냉각수 도구 (coolant tool) 를 갖추고 있으며, 이 도구는 연삭 중에 발생하는 열을 더 잘 관리하기 위해 연삭 및 연마 휠에 냉각제를 공급합니다. 또한, 에셋에는 최적의 냉각 및 디스크 수명 증가를 위해 에어 나이프가 장착 될 수 있습니다. EPO 222T에는 2 세트의 연삭/연마 도구가 장착되어 있으며, 각 도구는 응용 프로그램에 따라 다른 유형의 작업을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 첫 번째 세트에는 다이아몬드 그라인딩 휠, 다이아몬드 랩핑 디스크 및 가변 속도 작동을위한 연마 패드가 포함됩니다. 두 번째 공구 세트는 고품질 연마 작업을 위해 그라인딩 휠, 랩핑 디스크 및 연마 패드로 구성됩니다. 이 도구는 석영, 실리콘, GaAs 등 다양한 기판을 갈아서 연마 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델에는 안정성이 뛰어난 안전 및 보호 장비도 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 이동 안전 관리 (Moving Safety Guard), 인터 록 (Interlock) 및 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함되어 있어 장치의 안전한 작동을 보장합니다. 또한 EBARA EPO 222T는 CE, RoHS 및 WEEE와 같은 국제 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다. EPO222T는 엄청나게 다재다능하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 도구는 강력하고 무거운 듀티 (heavy-duty) 설계를 통해 다양한 반도체 및 비금속 기판에서 일관되고 신뢰할 수있는 작업을 수행 할 수 있습니다. 자산에는 2 세트의 연삭/연마 도구, 냉각수 모델 (coolant model) 및 안전 장비 (safety equips) 가 장착되어 있어 최대한의 안전성과 안정성으로 최적의 연삭 및 연마 작업이 가능합니다.
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