판매용 중고 EBARA EPO-222A #9396292
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ID: 9396292
웨이퍼 크기: 8"
CMP System, 8"
Load / Unload: Right to left
(2) Cleaners: Right to left
Roll / Roll unit: Right to left
Pencil unit: Right to left
YASKAWA Robot: 1, 2, 3, 4
RTP
Pusher: Right to left
Top ring: Right to left
Head type: Normal head
Turn table: Right to left
Dresser: Right to left
Slurry supply: Right to left
Line A, B
Type: Roller pump.
EBARA EPO-222A는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 정밀 웨이퍼 생산에서 탁월한 정확성과 수율을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 최대 사용 편이성을 위해 설계되었으며 가변 속도 제어 (variable speed control) 및 고무 백업 디스크가 장착 된 21 인치 정밀 그라인딩 헤드를 포함합니다. 연삭 헤드는 초당 20 미크론의 연삭 속도를 달성 할 수 있으며, 이는 가장 복잡한 웨이퍼 제작 프로세스에도 이상적입니다. 이 장치에는 멀티 스텝 카트리지 랩핑 프로세스 (multi-step cartridge lapping process) 도 포함되어 있으며, 가장 복잡한 웨이퍼에서도 완벽한 랩핑 일관성과 균일성을 달성하도록 설계되었습니다. EBARA EPO 222A (EBARA EPO 222A) 는 조정 가능한 속도와 일정한 압력 랩 기능을 갖춘 다이아몬드 팁 랩핑 헤드를 포함하여 전체 웨이퍼의 균일 한 랩핑을 보장합니다. 문지르는 링은 완전한 랩핑 가장자리를 균등하고 정확하게 보장합니다. 연마 하는 머리 에는 조정 가능한 속도 와 기울기 (tilt) 가 포함 되며, 여러 종류 의 "웨이퍼 '를 수용 할 수 있으므로 완전 한 종결 이 가능 하다. EPO 222 A는 3 상 2.2kW 모터로 구동되며 최대 3300rpm을 생산할 수 있습니다. 이 기계에는 정밀 가공 냉각 팬 (precision-machined cooling fan) 이 포함되어 전체 공구의 완전하고 균일한 냉각을 보장합니다. 정밀 가공 린스 스테이션은 전체 작업 영역의 효율적이고 균일 한 린스 다운을 보장합니다. 이 자산은 여러 비상 정지가있는 우수한 안전을 위해 설계되었습니다. 또한 인체 공학적 하중 암 (ergonomic load arm) 과 카운터 밸런스 (counterbance) 가있는 정밀 가공 급지장치가 포함되어 있으며, 프로세스 전반에 걸쳐 와퍼의 부드럽고 통제 된 처리 및 운송이 가능합니다. 이 모델은 최대 80m 두께의 고정밀 웨이퍼를 생산할 수 있으며, 반도체 (semiconductor) 에서 의료 기기 (medical device) 제작에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. EPO-222A 장비 (EPO-222A 장비) 는 우수한 기능과 사양을 갖춘 견고한 시스템을 원하는 모든 회사 또는 연구 시설에 적합합니다.
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