판매용 중고 EBARA EPO-2228D #293642834

EBARA EPO-2228D
ID: 293642834
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2003
CMP System, 8" 2003 vintage.
EBARA EPO-2228D는 반도체 및 광전자 응용 프로그램을 위해 설계된 다목적 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이러한 서피스를 재료 또는 서피스의 품질을 저하시키지 않고도 높은 정확도, 정밀도로 머시닝 (machine) 할 수 있습니다. 기계는 회전 플랫폼에 장착 된 연삭 (grinding) 과 연마 (polishing) 헤드로 구성됩니다. 이 헤드는 정밀도 줌 (zoom) 및 웨이퍼 제어 기능을 갖춘 기계의 작동 베이스에 연결됩니다. 컨트롤 패널은 회전 속도, 그라인딩 깊이, 랩핑 주기를 제어합니다. 이렇게 하면 작업하는 재료에 따라 프로세스별로 이상적인 매개변수 (parameter) 를 선택할 수 있습니다. 기계 의 머리 에는 또한 "반도체 '와 광학 재료 의 표면 에서 작업 하는 데 사용 할 수 있는 여러 가지 도구 들 이 들어 있다. 그렇다. 이 도구에는 다이아몬드 그라인딩 휠, 랩핑 디스크, 다이아몬드 연마 플레이트 및 브러시가 포함됩니다. 각 도구는 특정 재료 및 응용 프로그램에 필요한 특정 매개변수 (parameter) 로 프로그래밍 할 수 있습니다. 이렇게 하면 가공되는 각 서피스 (surfaces) 에 최대 마무리 가능한 정도가 지정됩니다. 이 기계 에는 자동 청소 장치 가 장착 되어 있는데, 이 "시스템 '은 생산 중 에" 그라인딩' 과 "랩핑 '표면 에서 먼지 와 입자 를 제거 해 준다. 이 단위 는 또한 "그라인딩 '과" 랩핑' 공정 의 잔여 입자 들 이 최종 마무리 를 방해 하지 않게 하는 "파라미터 '집합 으로 프로그래밍 할 수 있다. 기계는 또한 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 소프트 스타트 (soft start), E-STOP 및 경고 표시기와 같은 특수 안전 기능이 기계에 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 작업 중에 사용자가 안전하게 유지되도록 하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로, EPO-2228D (EPO-2228D) 는 다양한 반도체 및 광학 재료를 높은 정확도로 머시닝 할 수있는 고급 도구입니다. 다양한 도구와 자동화된 청소 자산 (Automated Cleaning Asset) 을 통해 다양한 애플리케이션을 위한 안정적이고 다양한 솔루션이 될 수 있습니다.
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