판매용 중고 EBARA EPO-2228D #293642832

EBARA EPO-2228D
ID: 293642832
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
CMP System, 8" 2004 vintage.
EBARA EPO-2228D (EBARA EPO-2228D) 는 고급 어플리케이션에서 최고 수준의 평평함, 표면 마무리 및 에지 정확성을 달성하도록 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. EPO-2228D 는 최대 8 인치 (직경) 의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 다양한 사용자 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 기능과 옵션을 제공합니다. 이 시스템에는 정확한 휠 정렬 및 반복 가능한 휠 패턴을위한 2 축 전동 웨이퍼 목수, 빠르고 정확한 휠 드레싱을위한 2 축 전동 연마 스핀들이 포함됩니다. 가변 속도 구동 (Variable Speed Drive) 및 수동 휠 제어 (Manual Wheel Control) 는 정확하게 제어 된 휠 속도를 허용하며 가변 높이 휠 트레이에는 최대 2 개의 동력 또는 수동 휠이 있습니다. 이 장치에는 손수 연마 작고 도달 하기 어려운 지역을위한 수동 휠헤드도 포함되어 있습니다. 사용자는 편리한 터치스크린 컨트롤러와 온보드 (On Board) 진단 프로그램을 사용하여 컴퓨터를 쉽게 사용할 수 있습니다. 자동 컨베이어 (conveyor) 도구는 효율적인 재료 로딩 및 언로딩을 가능하게하며, 저압 공기 배기 에셋은 우수한 공기 여과 및 제어를 가능하게합니다. 이 모델에는 바코드 리더기, 툴박스 도어 인터록, 자동 인터록 시퀀싱, 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼 등 안전 기능이 내장되어 있어 기계를 안전하게 사용할 수 있습니다. 이 장비는 최고 수준의 정확성과 안정성을 제공하도록 설계되었으며, 광범위한 웨이퍼 (Wafer) 처리 어플리케이션에 적합합니다. 높은 수준의 표면 마무리 (surface finish) 와 평평함 (flatness) 을 달성할 수 있으며 가장자리 정확도가 뛰어납니다. 이 시스템은 빠른 속도, 빠른 프로세스 제어 시간을 제공하여 주기 (cycle) 시간을 줄이고 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. EBARA EPO-2228D 장치에는 여러 개의 그라인딩 휠, 스프레이 메이트 처리 기계, 웨이퍼 프로세스 모니터 (wafer process monitor) 및 열 제어 도구, 다양한 진공 및 액체 공급 시스템 등 다양한 옵션이 장착 될 수 있습니다. 또한 이 자산은 매우 유연하며, 고객 사양과 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. EPO-2228D는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 완벽한 솔루션입니다. 광범위한 반도체 (semiconductor) 및 기타 제조 어플리케이션을 위한 탁월한 수준의 표면 마무리, 평면도 (flatness), 에지 (edge) 정밀도를 제공하여 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다.
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