판매용 중고 EBARA EPO-2228 #293658079
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EBARA EPO-2228 (EBARA EPO-2228) 은 생산 환경에서 뛰어난 표면 마무리를 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 단면 및 양면 웨이퍼 모두에서 매우 정확한 미세 공차 서피스를 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 고효율 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 머신 (lapping machine) 과 최종 마무리 적용을위한 정밀 연마 헤드로 구성됩니다. 그라인딩 머신에는 수직 방향 테이블 및 내장 그라인딩 휠이 있습니다. 정밀도와 반복성이 높은 평평한 접지 표면을 생성 할 수 있습니다. 랩핑에는 2 개의 평평하고 독립적으로 제어되는 랩핑 플레이트가 있습니다. 이를 통해 웨이퍼에 완벽하게 평행하고 평평한 표면이 형성됩니다. 기계의 연마 헤드는 고도로 연마 된 표면 마무리를 제공 할 수 있습니다. 머리 는 "로터리 '" 테이블' 에 장착 되어 전체 "웨이퍼 '에 미세 연마 를 할 수 있게 해 준다. 강력한 진공 도구를 통해 연마 잔류를 효율적으로 제거하십시오. 전체 자산은 사용자 정의 소프트웨어에 의해 주도되며, 완벽하게 자동화되고 정밀한 연삭, 랩핑, 연마 주기를 허용합니다. 이 모델이 제공하는 자동화 수준은 비교할 수 없습니다. 장비는 표면 결함 및 공기 거품을 자동으로 감지하여 완벽한 결과를 보장 할 수 있습니다. EBARA EPO2228은 최소한의 인간 개입으로 최대 생산 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템의 좁은 프로파일은 기존 운영 라인에 통합하는 데 이상적이며, 효율성 (efficiency) 과 신뢰성 (안정성) 을 통해 광범위한 웨이퍼 (wafer) 마무리 어플리케이션을 위한 최적의 선택이 됩니다. 이 장치는 최대 속도, 최소 인간 간섭 (human interference) 으로 웨이퍼 표면 마무리 측면에서 우수한 결과를 제공 할 것을 약속합니다.
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