판매용 중고 EBARA EPO-2226D #293749187

EBARA EPO-2226D는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 독특한 디자인은 단일 스핀들 만 사용하여 큰 웨이퍼 (직경 200mm) 의 높은 정밀도, 단일 패스 그라인딩, 랩핑 및 연마가 가능합니다. 스핀들 (spindle) 은 웨이퍼를 떠나지 않기 때문에 각 프로세스 사이에 비용이 많이 들고, 복잡하고, 부정확한 기계적 이동이 필요하지 않습니다. 따라서 더 큰 정확성과 주기 시간을 크게 줄일 수 있습니다. EPO-2226D는 최대 200Nm의 토크를 제공 할 수있는 대용량 스핀들 모터로 구동됩니다. 다중 속도 제어는 모든 유형의 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 프로세스를 지원합니다. 이렇게 하면, 공정 이 가능 한 가장 높은 수율 에 달하기 위한 요구 조건 에 따라 저속, 중속, 고속 "그라인딩 '," 랩핑' 및 연마 '를 적용 할 수 있다. 이 기계는 Siemens PLC와 19 "HMI로 구동되며, 최적의 작동 및 안전을 위해 지속적으로 모니터링됩니다. 이를 통해 데이터 입력/운영이 간편해지고, 통합된 시스템을 구축하여 유지 보수/운영이 간편해집니다. EBARA EPO-2226D의 고밀도, 닫힌 루프 서보 제어 시스템은 매우 정확한 결과와 반복성에 기여합니다. 이것은 AC 서보 모터를 통해 달성되며, 이는 변화하는 조건에 빠르게 대응할 수 있습니다. 또한 2 개의 고조파 드라이브 (harmonic drive) 를 사용하여 중앙 집중화와 총 압력을 제어할 수 있으며, 수동 보정이 필요 없는 여러 디스크 인식 (disk recognition) 을 허용합니다. EPO-2226D 에는 먼지 수집 (dust collection) 및 입자 모니터링 기능이 있는 전체 인클로저가 포함되어 있어, 이 장비는 혹독한 환경에서 사용하기에 적합합니다. 안전 과 위생 을 개선 하기 위하여 압력 과 "플로우 센서 '가 먼지 수집" 시스템' 의 작동 을 모니터링 하고, 그 설계 에 여러 가지 부가적 인 "보호 '와 먼지 조절" 요소' 를 통합 시켰다. EBARA EPO-2226D의 전반적인 장점은 안전하고 깨끗한 작업 환경에서 정확하고 높은 수율로 빠른 사이클 타임입니다. 이 기계는 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하여 장기적인 생산성, 안정성을 제공하도록 설계되었습니다.