판매용 중고 EBARA EPO-222 #293809026

EBARA EPO-222 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 광택 장비는 직경이 최대 200mm 인 정확한 그라인딩, 랩 및 광택 웨이퍼를 설계하도록 설계된 최첨단 시스템입니다. CMP (화학 기계 연마) 및 MEMS (마이크로 전기 기계 시스템) 와 같은 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치에는 연삭 및 연마 작업을 정확하게 제어하기위한 디지털 서보 모터 (digital servo motor) 가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 배치 및 로딩을위한 로터리 테이블이 있습니다. 이 테이블을 손쉽게 조정하여 웨이퍼를 로드 (load) 하고 언로드할 수 있는 위치에 도달할 수 있습니다. 그라인딩 휠은 3 상 AC 모터에 의해 구동되며, 속도와 타이밍에서 조절 될 수 있습니다. 바퀴에는 반원형 그라인딩 휠과 2 개의 측면 (연마 용 1 면, 연마 용 1 면) 이 있습니다. 휠은 유연한 커플러를 통해 구동 모터에 연결됩니다. 랩핑 휠은 속도 제어 된 별도의 3 상 AC 모터에 의해 구동됩니다. 그것 은 "랩 '하려는 재료 의 종류 에 따라" 그릿' 크기 가 다른 바퀴 로 이루어져 있다. 바퀴 는 "그라인딩 휠 '에 동기화 되어" 웨이퍼' 의 상단 과 하단 을 동시 에 "랩 '할 수 있다. 연마 휠은 또 다른 3 상 AC 모터에 의해 구동되며, 사용 가능한 다양한 연마 매체를 가지고 있으며, 습하고 건조한 연마를 수행 할 수 있습니다. 바퀴는 유연한 커플러를 통해 구동 모터에 연결됩니다. 기계는 연삭 (grinding) 과 연마 (polishing) 바퀴의 속도를 일정하게 제공하여 시간에 따른 정확성과 반복성을 유지하도록 설계되었습니다. "그라인딩 '과 연마 과정 의 거칠기 는" 그라인드' 와 "폴리쉬 '매체 의 섭취 속도 를 조정 함 으로써 제어 할 수 있다. 이 도구는 부식 저항과 쉬운 청소를위한 스테인레스 스틸 하우징 (stainless steel housing) 으로 둘러싸여 있습니다. 주택에는 먼지, 연기 및 안전을위한 안개를위한 여과 자산이 내장되어 있습니다. 내부에서, 강력한 공기 순환 모델은 작업 구역에서 먼지 입자를 제거합니다. EBARA EPO222 (EBARA EPO222) 는 직경이 최대 200mm 인 연삭, 랩핑 및 연마 웨이퍼를위한 안정적이고 효율적인 장비입니다. 이 시스템은 일관되고 반복 가능한 연삭 및 연마 프로세스를 허용합니다. 강력한 서보 모터, 조정 가능한 회전 테이블, 랩핑 휠, 다중 연마 매체를 갖춘 이 장치는 CMP 및 MEMS 응용 프로그램에 이상적인 솔루션을 제공합니다.