판매용 중고 EBARA EPO-222 #293775100

EBARA EPO-222 (EBARA EPO-222) 는 소량의 구성 요소뿐만 아니라 웨이퍼의 연삭, 랩핑 및 연마용으로 설계된 정밀 표면 마감기입니다. 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 결과가 필요한 반도체 및 광전자 애플리케이션에 적합합니다. 그라인딩 헤드 (grinding head), 랩핑 플레이트 (lapping plate) 및 연마 플레이트는 매우 정확하며 표면 마무리 품질 측면에서 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 가변 속도 Y축 (Y축) 및 X축 (X축) 테이블을 사용하면 그라인딩 헤드의 위치를 쉽게 조정하여 원하는 서피스 효과를 얻을 수 있습니다. 이 기계에는 다른 재료에 사용할 수있는 3 개의 개별 광택 스테이션이 있습니다. 광택 패드는 XY 축 조정 가능 테이블의 도움을 받아 정확하게 배치할 수 있습니다. 연마 형 미디어는 일관된 연마 성능을 보장하기 위해 독특한 "U" 모양의 연마 헤드에 장착됩니다. EBARA EPO222 (EBARA EPO222) 에는 처리 영역으로부터의 웨이퍼 로드/언로드 및 연마 매체 및 연마 패드의 자동 교환이 용이한 완전 자동화 로봇 암이 장착되어 있습니다. 이 장비는 또한 레이저 정렬 시스템 (Laser Alignment System) 과 프로세스 반복성을 높이고 미디어 소비를 줄이는 자동 필터 클리닝 기능으로 설계되었습니다. 이 기계는 직관적인 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 와 이해하기 쉬운 작동 메뉴가 있는 컨트롤러를 통해 작동합니다. 이 장치에는 또한 시간 (time) 과 미디어 소모율 (media consumption rate), 온도 (temperature), RPM (RPM), 연삭/연마 결과 (Grinding/Polishing Result) 등 시간 경과에 따라 모든 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링할 수 있는 데이터 로그가 있습니다. 결론적으로, EPO 222는 고급적이고 다목적 인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 고정밀도 표면 마무리 품질 (surface finish quality) 을 갖춘 반복 가능하고 정확한 결과를 제공하며, 다양한 정밀 어플리케이션에 적합합니다. 직관적인 작업 인터페이스 (operation interface) 와 자동화된 기능 (automated feature) 을 통해 최소한의 노력으로 높은 수준의 표면 마무리 품질을 얻을 수 있는 이상적인 솔루션이 됩니다.