판매용 중고 EBARA EPO-213 #293814769

EBARA EPO-213
ID: 293814769
Chemical Mechanical Polishers.
EBARA EPO-213 (EBARA EPO-213) 은 다양한 재료에서 초미세 마무리를 만들 수있는 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 높은 생산률, 초미세 최종 광택, 다양한 연삭 및 마무리 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. EPO-213에는 강력한 2 축 수치 제어 그라인딩 스핀들 (spindle) 과 초정밀 랩핑 및 광택을 달성하도록 설계된 서보 구동 엔드 이펙터 (end effector) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 단위는 짧은 연삭 시간에 우수한 표면 마무리를 달성 할 수 있습니다. 또한 최종 이펙터 (End-effector) 는 부품 형상의 변화를 빠르게 조정하는 자체 보상 머신 (Self-Compensating Machine) 을 제공합니다. EBARA EPO-213에는 최신 자동 웨이퍼 처리 기술도 장착되어 있습니다. 여기에는 웨이퍼 로더, 웨이퍼 매거진 및 언로더가 포함됩니다. 로더 (loader) 와 언로더 (unloader) 는 완벽한 자동 웨이퍼 전송 프로세스를 제공하여 인건비 및 수동 처리 (manual handling) 를 최소화하면서 웨이퍼를 신속하게 전송할 수 있습니다. 이 도구는 쿼츠, 유리 및 크롬 몰리브덴 (chrome-molybdenum) 과 같은 매우 단단한 재료를 갈기에 이상적인 무거운 8 인치 그라인딩 스핀들로 구동됩니다. 이 자산은 또한 냉각재 안정화 모델 (coolant stabilization model) 을 특징으로하며 연삭 작업 중 냉각재의 분배를 보장합니다. EPO-213에는 고급 서보 제어 연마 장비도 장착되어 있습니다. 이 시스템은 다양한 재료와 표면 마무리 (surface finish) 를 연마하면서 높은 수준의 반복성을 달성 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 조정 가능한 랩핑 압력, 조절 가능한 판 회전 속도, 프로그래밍 가능한 웨이퍼 방향 (wafer orientation) 과 같은 다양한 고급 기능이 있습니다. EBARA EPO-213은 먼지 방지 및 정적 자유 작업 환경에 완전히 둘러싸여 있습니다. 여기에는 에어컨, 이중 벽 챔버 및 고압 공기 흐름 기계가있는 스테인리스 스틸 전면 패널 (stainless steel front panel) 이 포함됩니다. 또한 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 통해 쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. EPO-213은 대용량 생산 속도를 위해 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 도구를 필요로 하는 고객에게 이상적인 솔루션입니다. 이 자산은 자동화된 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 를 활용하여 인건비와 시간을 절약하고, 효율적이고 안정적인 연삭/연마 작업을 통해 생산률을 최적화하는 동시에, 탁월한 표면 마무리를 제공합니다.
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