판매용 중고 EBARA EPO-113 #293825810

EBARA EPO-113 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 다양한 응용 프로그램에 강력하고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기능을 제공합니다. 최대 15,000 rpm의 속도로 직경 8 인치 (최대 8 인치) 의 단면 또는 양면 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 뛰어난 정밀도와 반복 성을 제공합니다. EBARA EPO 113의 능률적 인 기계 설계는 신뢰성과 정확성을 보장하면서 복잡성을 제거합니다. "다이아몬드 '와 연마용" 디스크' 에서 수지 와 연마 "펠트 '에 이르기 까지 정밀 한 연마제 를 온전 히 선택 한 것 이 특징 이다. 또한 0.01 미크론의 해상도와 0.5 미크론의 반복 성을 가진 웨이퍼 캐리어, 그라인딩 헤드 및 연마 테이블을 독립적으로 제어하기위한 3 축 선형 모터 (Linear Motor) 시스템이 있습니다. EPO-113 (EPO-113) 은 또한 매우 유연하며, 머리와 테이블의 간단한 교환을 통해 연삭 (grinding) 에서 연마 (polishing) 로 전환하는 기능을 제공합니다. 밀어넣기 위치 (grinding positioning) 및 연마 테이블 (polishing table) 을 위한 웨이퍼 위치는 컨트롤러에서 미리 설정되어 있으므로 전환 후에도 모든 매개변수가 동일하게 유지됩니다. 직관적인 사용자 친화적인 12 "LCD 컨트롤 패널 (컬러 그래픽 디스플레이 포함) 을 통해 웨이퍼 그라인딩 및 연마 프로세스를 간단하게 제어할 수 있습니다. 프로세스 매개변수 (예: 속도, 압력, 연마 유형) 는 쉽게 조정할 수 있으며, 프로세스를 수동으로 제어하거나 레시피 단위를 통해 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 RFID 기술을 사용하여 그레인 크기, 유형 및 컷을 자동으로 감지할 수 있습니다. 이것은 연삭 및 연마 과정을 자동화하고 일관된 결과를 보장합니다. 마지막으로, 운영자와 인근 사람들의 안전이 중요합니다. EPO 113은 직관적 인 능동형 안전 인터 록 (Safety Interlock) 기계 및 LED 표시기, 고압 선박 격리 기능, 먼지 수집 및 입자 처리를위한 먼지 수집기 통풍구를 포함한 일련의 안전 기능으로 설계되었습니다.