판매용 중고 EBARA EPO-112 #9246168

EBARA EPO-112는 고품질 뒷면 얇게, 습식 결과 및 기타 제조 공정을 위해 웨이퍼를 준비하도록 특별히 설계된 프로그래밍 가능한, 정밀, 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 시스템의 핵심에는 CNC 컨트롤러 (CNC controller) 가 있는데, 이 컨트롤러는 정밀 반복성을 위해 디지털 판독값을 사용하여 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 완벽하게 제어합니다. 이 장치에는 3 가지 크기의 펠트 패딩 (felt padding) 과 함께 사용할 수있는 독특한 1 피스 Ringflex 랩핑 플레이트가 포함되어 있으며, 다양한 웨이퍼 크기에 대해 얇고 균일 한 그라인딩 및 연마가 가능합니다. 열 담요 (옵션) 는 정확한 균일 한 온도 조절을 제공하며, 이는 매우 얇은 웨이퍼 얇은 작업에 중요합니다. 또한, Ringflex 플레이트 및 웨이퍼 홀더의 화살표 기계는 연삭 및 연마 작업을 세밀하게 튜닝 할 수 있습니다. 프로세스 반복성과 조정성을 용이하게하기 위해 도구는 프로그램 가능한 프로세스 매개 변수 (제품 치수, 원하는 연마 시간, 그라인딩 선, 그라인딩 압력, 스트로크 속도, 랩핑 속도, 전체 프로세스 전반에 걸쳐 각 매개 변수의 동적 분포 포함) 를 제공합니다. 프로세스 매개변수는 재료, 웨이퍼 유형 및 크기에 따라 달라질 수 있습니다. 에셋에는 사용자 친화적이고 직관적인 터치스크린 인터페이스 (TouchScreen Interface) 도 함께 제공되며, 각 처리 단계의 설정과 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있으며, 사전 프로그래밍된 프로세스 설정을 최대 20개까지 저장할 수 있습니다. 스마트 보호 모델은 또한 그라인딩 플레이트, 연마 패드, 연마 휠 등 웨이퍼 그라인딩 및 연마 도구의 손상을 방지합니다. EPO-112 장비 운영자를 보호하기 위해 다양한 안전 대책을 갖추고 있습니다. 자동 안전 "시스템 '은" 래핑' 판 이 부러지는 더러운 갈기 "플레이트 '나 접시 와 같은 잠재적 인 위험 을 경계 한다. 또한, 기계식 그라인딩 플레이트 가드 (grinding plate guard) 는 운영자가 의도하지 않게 웨이퍼와 접촉하는 것을 방지하는 한편, 랩핑 플레이트를 제자리에 고정시켜 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 장치는 필요에 따라 포물선, 원형, 직사각형 또는 기타 모양을 에칭 및/또는 그라인딩할 수 있습니다. 기계는 또한 연삭 표면을 빠르고 효율적으로 청소 할 수 있습니다. 용매 린스 스프레이 (옵션) 를 사용하여 이물질을 플러시 할 수 있으며, 강력한 디온화 물 스프레이 도구 (deionized water spray tool) 를 사용하면 더 빠른 웨이퍼 표면 청소가 가능합니다. EBARA EPO-112 자산은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 자동화, 반복 가능, 정확하고 효율적인 방법을 제공합니다. 이 모델의 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface), 프로그래밍 가능한 매개변수 (programmable parameters), 필요한 안전 기능 및 사용 가능한 액세서리 (accessory) 를 통해 다양한 웨이퍼 제조 프로세스에 이상적으로 선택할 수 있습니다.