판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN AS 2000 #9382445

ID: 9382445
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
CMP System, 8" Process: Oxide 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN AS 2000은 일본 회사 DNS가 설계 한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 사파이어 (Sapphire) 및 기타 여러 재료를 포함한 다양한 기판에서 매우 매끄러운 마무리를 만들 수 있습니다. 이 장치는 정밀한 모션 컨트롤 (motion control), 정밀한 공기 압력 및 전용 연마제 전달 방법을 결합하여 최고 수준의 매끄러움을 달성합니다. 이 기계는 고주파 초음파 트랜스듀서 (High Frequency Ultrasonic Transducer) 를 특징으로하며, 광범위한 재료에 비해 우수한 연삭 및 랩핑 성능을 제공합니다. 또한, 고주파 트랜스듀서는 추가 랩핑 단계가 필요하지 않습니다. DNS AS 2000 (DNS AS 2000) 은 모든 동작 축이 상호 연결되고 동시에 작동하여 정밀도와 정확도를 향상시키는 모듈식 축 설계를 특징으로합니다. 공구의 총 축 수에는 3 개의 그라인딩, 2 개의 랩핑 및 1 개의 연마 축이 포함됩니다. 서보 모터 (servo motor) 와 힘 센서, 제타 배경 센서, 공구 홀더 센서 등 다양한 센서로 구동됩니다. 제타 배경 센서 (zeta background sensor) 가 에셋을 둘러싼 영역의 배경 온도를 측정하는 동안 힘 센서는 가공소재에 적용되는 힘을 측정하는 데 사용됩니다. 공구 홀더 센서는 가공소재를 기준으로 공구 홀더 동작을 모니터합니다. 이 모델은 직경이 최대 12 "(304.8 mm) 이고 두께가 8" (203.2 mm) 인 기판을 처리 할 수 있습니다. SCREEN AS-2000의 분쇄 속도는 최대 50m/s이며 일반적인 랩핑 속도는 0 - 2000m/min 사이입니다. 장비는 조절 가능한 연삭 및 랩 압력이 가능하며, 후자는 0.5-10 바에서 조절 할 수 있습니다. 공압 시스템은 또한 시간 제어 (time control) 및 연삭 시간 (grinding time) 과 같은 여러 모드의 랩핑 프로파일을 제공합니다. AS 2000에는 연삭, 랩핑 및 연마 매개변수를 정의 할 수있는 수동 콘솔이 제공됩니다. 또한, 입력 (Input) 및 출력 (Output) 인터페이스도 편리하게 액세스하고 장치를 쉽게 제어할 수 있도록 제공됩니다. 또한 DAINIPPON AS 2000에는 정교한 마이크로프로세서 제어 장치 (microprocessor control unit) 가 장착되어 있어 정확한 제어 및 원활한 작동을 보장합니다. 전반적으로, SCREEN AS 2000은 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로, 높은 정확도로 매우 매끄러운 마무리를 만들 수 있습니다. 이 도구에는 수동 콘솔 (manual console) 과 인터페이스 (interface) 가 제공되어 매개변수를 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있으며, 여러 모드와 조정 가능한 연삭 및 랩핑 압력을 제공합니다.
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