판매용 중고 DNS / DAINIPPON / SCREEN AS 2000 #293630512

ID: 293630512
CMP System.
DNS/DAINIPPON/SCREEN AS 2000은 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 그것 은 연마제 "그라인딩 '기술 을 이용 하여" 웨이퍼' 표면 에서 가장 훌륭 한 마무리 를 만들어 내며, 결함 이 매우 낮다. 이 시스템은 그라인딩 휠, 멀티 축 홀더, 연마 장치, 제어 장치 및 소프트웨어 패키지의 5 가지 구성 요소로 구성됩니다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 은 웨이퍼 서피스에서 재료를 제거하고 원하는 형상을 달성하도록 설계되었습니다. 절단 동작을 최적화하기 위해 정밀한 간격으로 유지되는 일련의 연마 입자 (marrasive particle) 가있는 회전 (rotating) 디스크로 구성됩니다. 휠은 홀더에 부착되어 있는데, 이 홀더 (holder) 는 다중 축 동작으로 이동하여보다 정확하고 제어된 그라인딩 동작을 제공합니다. 고해상도 인코더와 센서를 사용해 차륜 위치 (wheel position) 와 속도 (speed) 를 정확하게 모니터링하고 그에 따라 조정한다. 연마 장치 는 "웨이퍼 '의 표면 을 더욱 정련 하고 표면 손상 을 줄이는 데 도움 이 된다. 이 장치는 웨이퍼 (wafer) 를 고정하는 플랫폼과 웨이퍼 (wafer) 표면에 미리 정해진 압력 및 연마 용액을 적용하는 회전 휠로 구성됩니다. "웨이퍼 '를 최적 으로 마치기 위하여 압력 과 해결책 을 주 의 깊이 선택 하고 조정 한다. 제어 장치 (Control Unit) 는 연삭 및 연마 프로세스를 설정하고 제어하기 위한 다양한 기능에 대한 액세스를 사용자에게 제공합니다. 휠 위치, 속도, 연마 압력, 솔루션, 그라인드 각도 등의 정보는 모두 제어 장치 (control unit) 를 사용하여 모니터링, 조정할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지는 프로세스에 대한 추가 데이터 및 피드백을 제공하는 데 사용됩니다. 결론적으로 DNS AS 2000 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 시스템은 반도체 산업을위한 강력한 도구입니다. 고품질, 결함 없는 마무리 (free finish) 를 얻기 위해 연삭 및 연마 과정에 대한 정확한 제어 및 모니터링을 제공합니다. Control Unit 및 Software 패키지는 다양한 기능/데이터에 대한 액세스를 제공하여 최적의 결과를 보장합니다.
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