판매용 중고 DAITO Y1000 #9120571
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ID: 9120571
빈티지: 1985
Lapping system
Plate size: 1000 mm
(4) Cylinder head type
1985 vintage.
DAITO Y1000은 다양한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 뛰어난 표면 마감과 정확도를 제공합니다. 다재다능한 디자인과 높은 정확성으로 인해 CMP 및 포토 마스크 제작 (photomask fabrication) 을 포함한 다양한 반도체 애플리케이션에 이상적입니다. 이 시스템은 최대 8 "직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 강력한 그라인딩 헤드와 고정밀 스핀들 (spindle) 을 갖추고 있어 정확성과 반복성을 보장합니다. 그라인딩 헤드는 다이아몬드 (diamond) 연마 휠을 사용하여 웨이퍼 기판을 손상시키지 않고 높은 재고 제거 속도를 제공 할 수 있습니다. 스핀들은 또한 우수한 진동 감쇠 특성을 특징으로하며, 더 높은 RPM에서 더 빠르게 분쇄할 수 있습니다. 이 장치는 또한 쉽게 고급 랩핑 및 연마 작업을 수행 할 수 있습니다. 고급 랩핑 기능은 파퍼 (wafer) 표면에 낮고 제어된 압력을 가하여 표면 불규칙성을 줄이기 위해 연삭 후 (post-grinding) 프로세스로 구성됩니다. 이 기술은 또한 웨이퍼의 광학 기계적 특성을 향상시키고, 차원의 안정성을 높입니다. 이 기계의 연마 능력은 또한 이온 밀링, 이온 임플란테이션, 화학 기계 연마 (CMP) 와 같은 특수 제작 기술을 결합하여 웨이퍼 표면을 거울 같은 마무리로 마무리하기 때문에 놀랍습니다. 열 산화, 에칭, 전기 도금 등과 같은 선택적 공정을 사용하여 Y1000 기능을 더욱 확장 할 수 있습니다. 자동화된 프로세스는 정확성을 높이고 제품 결함을 줄이는 데 도움이 되며, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 다이토 Y1000 (DAITO Y1000) 은 매우 정밀하고 정확성이 필요한 다양한 반도체 제작 어플리케이션에 적합한 도구입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 사용자 친화적이며, 다양한 프로세스와 기능을 통해 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
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