판매용 중고 COBURN CMX 50 #9156303
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COBURN CMX 50 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 (lapping & polishing) 장비는 사용자가 일관되게 높은 정밀도 및 표면 마무리 결과를 덜 얻을 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 생산 단계에서 반도체 웨이퍼를 처리하기위한 고급 기능을 제공합니다. 최대 3 개의 x-y 그라인딩 스테이션이 장착 된이 장치는 초음파 지원 연마, 연마식 청소 및 랩핑 (랩핑) 을 제공하여 공정 효율성을 향상시킵니다. 이 시스템은 강력한 컴퓨터에 의해 제어되며, 사용자는 전체 프로세스를 추적하고 실시간 프로세스 모니터링 (real-time process monitoring) 을 사용자에게 제공할 수 있습니다. 또한 사용자는 프로세스 요구 사항에 따라 사용자 정의 레시피를 만들 수 있습니다. 또한이 도구는 금속, 실리콘, 도자기, 석영 등 다양한 기질 물질을 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. CMX 50의 주요 장점은 프로세스 구현, 고밀도, 사용자 친화적 인터페이스 측면에서 유연성입니다. 자산 제어 연마제 (alrasive dispenser) 와 함께 제공되어 연마제의 균일 한 적용 보장, 도구 마모 최소화, 연마제 수명 증가 등을 보장합니다. 또한, 매우 선형 인 동작 제어 모델 (motion control model) 을 사용하면 짧은 시간 안에 원하는 서피스 마무리와 모양을 쉽게 생성할 수 있습니다. 이 장비에는 정밀 스핀들 시스템 (precision spindle system) 이 장착되어 있으며, 정밀 분쇄를 위해 높은 정밀도 회전 및 선형 모션 응용 프로그램을 실행할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 원하는 정밀도 결과 시간 (시간) 을 다시 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 또한 이중 레벨 센서가 포함되어 있으므로 연삭 깊이가 다릅니다. 이 기계는 안정적이고, 내구성이 있으며, 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 유지 보수가 적고 장기 운영이 가능하도록 설계되었습니다. COBURN CMX 50 (COBURN CMX 50) 에는 종합적인 사용자 설명서가 수록되어 있어 설치 및 작동에 관한 자세한 지침이 제공되므로 이 툴의 성능을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로 CMX 50 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산은 웨이퍼의 정확성 및 표면 마무리 개선을위한 이상적인 솔루션입니다. 최대한의 정밀도 (Precision) 와 마무리 (Finish) 를 보다 적은 시간 내에 보다 적은 노력으로 제공할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델에서, 사용자는 최고 수준의 품질 (Quality) 표준을 충족하는 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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