판매용 중고 COBURN 604 #9113445

코번 604 (COBURN 604) 는 반도체 산업에 고급 처리 기능을 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 2 단계 연마 프로세스를 사용하여 반도체 웨이퍼에 매우 정확한 표면을 만듭니다. 604는 1, "2", 2.5 "및 3" 웨이퍼를 처리하도록 구성됩니다. 대형 연삭 모터를 사용하여 처음에는 웨이퍼를 적절한 두께로 갈았습니다. 그라인딩 프로세스는 서보 제어 (servo-controlled) 방식으로 넓은 범위 내에서 정확한 두께를 허용합니다. 그런 다음 코번 604 (COBURN 604) 는 동일한 평면에서 회전하는 두 개의 독립적으로 제어되는 폴리셔를 사용하여 좋고 부드러운 서피스를 생성합니다. 조정 가능한 속도 광택제는 웨이퍼 (wafer) 의 여러 영역의 표적 재 표면을 가능하게하며, 일반적인 연삭 및 랩핑 시스템보다 더 큰 제어 및 균일성을 가능하게합니다. 처리 후, 웨이퍼는 내장 된 CoolBell 로봇 장치를 사용하여 시스템에서 배출됩니다. 이렇게 하면 다른 시스템과 관련된 수동 웨이퍼 (wafer) 처리가 제거되고 수율이 증가합니다. 기계의 제어 소프트웨어는 완전한 운영자 친화적 용도로 설계되었습니다. 간편한 프로그래밍 및 제어 기능을 제공하며, 현재 웨이퍼 (Wafer) 및 프로세스 상태에 대한 정보를 제공하며, 해당 프로세스 소프트웨어와 상호 작용하는 상세한 프로세스 데이터를 제공합니다. 프로그램 가능한 경고는 모든 도구 문제를 연산자에게 알립니다. 이 자산에는 수동 처리 없이 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수있는 카세트-카세트 인터페이스 (cassette-to-cassette interface) 가 장착 될 수 있습니다. 604는 또한 유지 관리 및 서비스가 용이하도록 제작되었습니다. 완벽한 분해 및 부품 교체 (필요한 경우) 를 단순화하는 모듈식 디자인이 특징입니다. 인클로즈드 (enclosed), 먼지 방지 (dust-proof) 구조로 기계 수명을 극대화하고 고품질 제품을 생산할 수 있습니다. 이 모델은 환경 요구 사항에도 적용 할 수 있습니다. 전반적으로, COBURN 604는 반도체 산업에 최신 기술을 제공하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 서보 제어 그라인딩, 2 단계 연마, 로봇 웨이퍼 처리, 운영자 친화적 인 소프트웨어 등의 기능을 통해 매우 정밀한 반도체 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 수작업 처리 (Manual Handling) 및 그 결과 운영 비용을 최소화하면서 효율성을 높일 수 있습니다.