판매용 중고 BUEHLER Vibromet 2 #293639032

BUEHLER Vibromet 2는 고급 반도체 기판에 고성능 웨이퍼 백 그라인딩을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 백 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 빠르고 정확한 웨이퍼 처리 및 위치를 위해 5 축, 로봇 암 디자인을 사용합니다. 이 장치는 운영 및 성능 특성 (Operating and Performance Charactery) 을 통해 성장하는 반도체 업계의 고급 장치 제작 및 품질 보장에 이상적입니다. 이 기계에는 로봇 암 어셈블리, 피드 휠 앵글 컨트롤 및 랩핑/연마 플래튼을 지원하는 스핀들 하우징 (spindle housing) 이 포함됩니다. 공구 홀더는 스핀들에 연결되어 있으며 그라인딩 휠 (grinding wheel) 및/또는 랩핑/연마 플래튼 (lapping/polishing platens) 을 둘 다 유지하는 데 사용됩니다. 로드 도구 (load tool) 는 스핀들을 기준으로 플래튼 위치를 낮추고 올리는 데 사용됩니다. 이 자산은 높은 가속, 런아웃 허용 한도 및 반복 가능한 작동을 제공하도록 설계되었습니다. Vibromet 2 모델은 새로운 트리플 축 로봇 암 (robotic arm) 어셈블리를 사용하여 적재 된 플래텐을 연삭 휠 또는 플래튼으로 빠르고 정확하게 이동합니다. 삼중 축 장비를 사용하면 연삭 (grinding) 또는 연마 (polishing) 면과 관련하여 웨이퍼의 정밀 위치를 지정할 수 있습니다. 이송 휠 각도 제어를 통해 로봇 암은 연삭 휠 및/또는 랩핑/연마 플래튼 (lapping/polishing platens) 의 각도를 정확하게 제어하여 연삭 및/또는 연마 중에 이상적인 표면 접촉을 보장합니다. 이 시스템의 고성능 그라인딩 휠 (Grinding Wheel) 은 탁월한 표면 제거 속도, 속도 및 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. 그라인딩 휠은 최대 12 인치 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 0.01 미크론 해상도의 반복 가능성이 있습니다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 에는 휠의 피드와 속도를 모두 제어하기위한 압력 감지 피드백 (pressure-sensing feedback) 장치가 장착되어 있습니다. "래핑 '/연마" 플래튼 '역시 가장자리 에서 가장자리 까지의 균일 한 마무리 를 통해 뛰어난 표면 성능 을 제공 할 수 있다. BUEHLER Vibromet 2 기계에는 직관적인 제어판이 포함되어 있으며, 사용자는 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 툴에는 고급 프로세스 모니터링 (Process Monitor) 자산이 장착되어 있어 품질과 안정성을 보장합니다. 이 모델의 성능은 에너지 모니터링 장비와 예측 유지 관리 (Predictive Maintenance) 기능으로 더욱 향상되었습니다. 전반적으로 Vibromet 2는 빠르고 정확한 웨이퍼 처리, 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 백 그라인딩, 랩핑, 연마 솔루션입니다. 이 시스템은 우수한 표면 마무리 및 속도 (surface finish and speed) 를 제공하여 반도체 업계에서 고급 장치 제작 및 품질 제어를 가능하게 합니다.