판매용 중고 BUEHLER Techmet #9033153

BUEHLER Techmet은 ITW 회사 인 BUEHLER의 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 생산 및 연구 응용프로그램을 위해 설계되었으며, 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 장치는 여러 서브시스템이 장착된 내장형 Tabletop 섀시로 구성되어 있습니다. 랩핑 및 연마 작업은 자동 플래튼 컴퓨터 제어 행성 기계에 의해 지원됩니다. 최대 직경이 200mm 인 최대 6 개의 8 인치 웨이퍼 캐리어를 수용 할 수 있습니다. 이 툴은 특정 성능 요구 사항을 충족하기 위해 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 매개변수를 제공하도록 설계되었습니다. 그라인딩 스테이지 (grinding stage) 는 웨이퍼 서피스 위에서 광범위한 움직임을 가진 고급 고속, 서보 제어 선형 모터 에셋을 특징으로합니다. 조절 가능한 스핀들 깊이는 6 ~ 64 미크론으로 연삭 과정을 정확하게 제어합니다. 또한 이 모델에는 그라인딩 매개변수를 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있는 지능형 끝점 검색 (Intelligent End Point Detection) 하위 시스템이 있습니다. 연마 작업은 또한 조정 가능한 속도, 런타임 및 힘 매개 변수를 통해 자동화 및 제어됩니다. Techmet은 온보드 고해상도 이미징 프로파일러 (wafer surface) 의 재구성 프로파일을 측정하도록 프로그래밍되었습니다. 이를 통해 최적화를 위한 임계 치수 (critical dimensions) 와 검증 (verification) 및 품질 제어 (quality control) 를 정확하게 측정할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스는 Windows 기반 운영자 컨트롤로 구성되며, 손쉽게 사용할 수 있는 터치스크린이 제공됩니다. 또한 BUEHLER Techmet은 분석 및 SPC 데이터 인수를 제공하도록 설계되었습니다. 이를 통해 프로세스 제어를 강화하고, 원하는 사양을 일관되게 달성하고, 더 높은 수율을 달성하고, 폐기물을 줄일 수 있습니다. 요약하자면, Techmet은 정확성과 반복성으로 정밀 부품을 만들도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 통합 및 자동 시스템에는 고속, 서보 제어 선형 모터 유닛, 조절 가능한 속도, 런타임, 힘 매개변수, 온보드 고해상도 이미징 프로파일러 등이 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 진단 시스템, SPC 데이터 획득은 최적의 성능을 보장하기 위해 필요한 강력한 툴을 제공합니다.