판매용 중고 BUEHLER Phoenix 4000 #9377666

BUEHLER Phoenix 4000은 반도체 산업에서 사용할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 자동화된 고정밀 환경에서 직경이 최대 8 "인 그라인딩, 랩 및 폴링 웨이퍼를 설계했습니다. 공정 레시피는 최대 50 개의 온보드 메모리 슬롯 (On Board Memory Slot) 에 저장되어 대규모 프로덕션 런을 처리 할 수 있습니다. 피닉스 4000 (Phoenix 4000) 에는 강력한 DC 모터와 정확한 연삭 및 랩핑 동작을위한 높은 토크 드라이브가 장착되어 있습니다. 스핀들 속도와 힘은 연삭 및 연마 매개변수를 미세하게 조정할 수 있습니다. 온보드 워터 노즐 (integrated water nozzle) 기능은 웨이퍼 표면에서 불완전성을 제거하기 위해 필요한 냉각 및 윤활을 제공합니다. BUEHLER Phoenix 4000 (BUEHLER Phoenix 4000) 에는 버나 구덩이가없는 부드러운 갈기를 제공하도록 설계된 다이아몬드 웨이퍼 헤드가 있습니다. 와퍼 헤드는 다른 두께에 맞게 조정하여 성능을 최적화할 수 있습니다. 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 공정을 사용자 정의하기 위해 많은 액세서리를 사용할 수 있습니다. 여기에는 많은 연마 다이아몬드 그라인딩 휠, 활성 냉각 장치, 다양한 랩핑 슬러리가 포함됩니다. 또한 Phoenix 4000에는 연삭 및 랩핑 프로세스를 자동화하는 향상된 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 웨이퍼 진행 상황을 모니터링하는 고급 비전 머신 (Advanced Vision Machine) 과 손쉬운 프로세스 편집 및 분석 기능을 위해 터치스크린 컨트롤이 포함된 사용자 친화적 인 인터페이스 (User-Friendly Interface) 가 포함됩니다. 다양한 분석 도구를 사용하여 웨이퍼 온도, 웨이퍼 경도, 서피스 마무리 등을 모니터링할 수 있습니다. 내장 데이터 로그 (datalogging) 기능은 향후 리콜 및 분석을 위해 프로세스 매개변수와 데이터를 기록하고 저장합니다. BUEHLER Phoenix 4000 (BUEHLER Phoenix 4000) 은 반도체 산업에서 웨이퍼를 고정밀 분쇄, 랩핑 및 연마하기위한 혁신적인 도구입니다. 탁월한 성능, 내장 분석 도구, 자동화된 프로세스 제어, 사용자 지정 프로세스를 위한 다양한 액세서리 (액세서리) 를 제공합니다.