판매용 중고 BUEHLER Phoenix 4000 #177485

BUEHLER Phoenix 4000 (BUEHLER Phoenix 4000) 은 웨이퍼 제작 및 박막 증착의 적용을 위해 처리량 및 프로세스 충실도를 극대화하기 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 원시 웨이퍼 서피스에서 반도체 결함을 제거하여 임계 치수 균일성 (critical dimension unifority) 및 웨이퍼 평면 (wafer planarity) 에 대한 고수율 반복성을 보장합니다. 피닉스 4000은 연삭, 랩핑 및 연마로 구성된 3 단계 프로세스를 사용합니다. 연삭 단계에서, 자동 단위는 엘라스토머 벨트 (elastomer belt) 를 사용하여 웨이퍼에서 재료를 빠르고 정확하게 제거하는 반면, 랩핑 단계는 다이아몬드 화합물 (diamond compound) 과 연마제 (marrasive paper) 를 사용하여 웨이퍼 표면에서 매끄럽고 균일 한 마무리를 달성합니다. 공정의 마지막 단계 인 연마 (polishing) 는 웨이퍼 표면에서 매우 낮은 Ra (거친 평균) 를 달성하고 필요한 박막 증착을 달성하는 데 사용됩니다. BUEHLER Phoenix 4000 (BUEHLER Phoenix 4000) 은 또한 먼지 입자로부터 보호하기위한 총 인클로저 (Total Enclosure) 와 연마 공정 내내 웨이퍼에 가해지는 압력을 모니터링하는 조절식 힘 센서 (Adjustable Force Sensor) 를 포함하여 다양한 최첨단 안전 기능을 제공합니다. 또한, 과잉 연삭을 방지하기 위한 자동 웨이퍼 (wafer) 보호 머신과 완전한 프로세스 제어를 위한 LCD 모니터 디스플레이가 있습니다. 요약하면, 피닉스 4000 (Phoenix 4000) 은 웨이퍼 제작 및 박막 증착의 적용을 위해 최대 처리량 및 프로세스 충실도를 위해 설계된 고급 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 그것 은 많은 "안전 '특징 과 공정" 컨트롤' 을 가지고 있으며, 정확성 과 반복성 을 위한 매우 다양 한 "엘라스토머 벨트 '와" 다이아몬드' 화합물 을 가지고 있다.