판매용 중고 BUEHLER PETRO-THIN 38-1450-160 #9291561

BUEHLER PETRO-THIN 38-1450-160은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로 웨이퍼, 세라믹, 금속 및 화합물 반도체와 같은 하드 재료에서 매우 고품질 평면 및 평행 표면을 생산하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 직경이 최대 150mm, 두께가 최대 8mm 인 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 장치의 핵심은 12 'HV 플라텐 (HV Platen) 으로, 매우 안정적인 연삭 및 연마 플랫폼을 제공하는 데 사용됩니다. HV 플래튼 (HV Platen) 은 균일 한 연삭 및 연마 표면을 제공하는 2 개의 직접 구동 서보 모터 세트로 구동됩니다. 플래튼 (platen) 은 또한 마이크로 포지셔닝 장치를 통해 전체 연마 표면이 평평하고 평행한지 확인할 수 있습니다. PETRO-THIN 38-1450-160에는 3 축 공급 메커니즘이 있으며, 이는 연삭 및 연마 과정에서 원하는 방향으로 웨이퍼를 구동하는 데 사용됩니다. 이를 통해 정확한 웨이퍼 정렬 및 프로세스 반복성이 가능합니다. 연마 매개변수를 정확하게 제어하기 위해, 기계에는 자동 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러를 사용하면 연삭/연마 압력, 연마 속도, 플래튼 회전, 현재, 시간 및 연삭 그릿 크기를 조정할 수 있습니다. 이 컨트롤러에는 경도 테스터 (hardness tester) 가 장착되어 있어 웨이퍼 경도를 정확하게 측정하고 최고의 연마 매개변수를 결정합니다. 이 도구는 또한 고급 하향식 웨이퍼 연삭/연마 기술로 웨이퍼 워핑 (wafer warping) 을 줄이고 평평하고 평행 한 표면 결과를 보장합니다. PETRO-THIN BUEHLER PETRO-THIN 38-1450-160에는 최적의 연삭 조건과 품질 결과를 유지하기 위해 연삭 압력 및 온도를 모니터링하는 통합 피드백 자산도 있습니다. 이 모델은 깨끗하고 통제된 환경을 유지하기 위해 공중에서 먼지 입자 (dust particle) 를 필터링하기 위한 실시간 비디오 모니터링 장비, 공기 여과 장치 (air filtration unit) 를 갖춘 LCD 디스플레이를 제공합니다. 이것은 잠재적 오염을 줄이고 웨이퍼 표면 결과를 최적화하는 데 도움이됩니다. 38-1450-160은 생산 환경에서 웨이퍼, 세라믹, 금속 및 화합물 반도체의 고정밀 연삭 및 연마를위한 이상적인 도구입니다. wafer grinding, lapping 및 polishing을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.