판매용 중고 BUEHLER ECOMET III #9133292
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BUEHLER ECOMET III는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 단일 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을위한 고정밀 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 뛰어난 정확도, 반복성, 표면 마무리 제어 기능을 제공하여 프로세스 제어 및 수율을 높입니다. 이 다목적 장치는 완전 자동화 된 6 축 로봇과 정밀 선형 모터 스테이지를 모두 결합합니다. 6축 로봇은 가로 동작의 경우 2 축, 각도 동작의 경우 2 축, 선형 동작의 경우 2 축을 포함하는 광범위한 동작을 제공합니다. 정밀 선형 모터 스테이지 (Precision Linear Motor Stage) 는 높은 정확도와 반복성을 갖춘 고성능 플랫폼 (고성능) 을 제공하여 단일 웨이퍼 (Single-Wafer) 또는 멀티 웨이퍼 (Multi-Wafer) 어플리케이션의 유연성을 제공합니다. 이 시스템에는 ECOMET III 소프트웨어 패키지도 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 직관적인 사용자 인터페이스, 대화형 계획 도구, 프로세스 제어 (process control) 기능, 프로세스 성능 추적을 위한 수학 기능 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 또한 통합 보안 데이터 관리 툴도 포함되어 있습니다. BUEHLER ECOMET III는 다음을 포함한 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 박막 증착, 수동화, 다이빙 및 백 그라인딩. 또한 패턴, 장치 격리, 얇음 및 도량형에 사용할 수 있습니다. 이 자산은 또한 신뢰할 수있는 반복 가능성을 통해 뛰어난 품질의 결과를 제공합니다. 또한 통합된 안전 (Safety) 모델을 통해 손쉽게 유지 관리 및 운영할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 장비에는 모든 축에 대한 다양한 제어 옵션 (예: 자동 수준 제어, 원격 모니터링, 피드백) 이 포함됩니다. 또한, 유연성을 높이기 위해 전용 툴링 어댑터 및 샘플 홀더 세트가 포함되어 있습니다. 마지막으로, ECOMET III는 ISO 9001 인증을 받았으며 최고의 품질 표준 및 프로세스를 보장합니다. 모든 구성 요소는 고품질 소재로 만들어지며, 업계 표준을 준수합니다. 또한, 이 시스템은 까다로운 웨이퍼 (wafer) 처리 환경에서 안정적인 작동을 보장하도록 광범위하게 테스트되었습니다.
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