판매용 중고 BUEHLER ECOMET III #9033156
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ID: 9033156
Variable speed polisher
8″ aluminum platten and digital controls/ display
110v, cat no.49-1750-160.
BUEHLER ECOMET III는 반도체 웨이퍼 생산에 사용하도록 특별히 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 고급 시스템은 Silicon, GaAs, Sapphire, Quartz 등과 같은 다양한 반도체 재료를 연마, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. ECOMET III는 정밀 행성 연마성 연마 판을 사용하여 웨이퍼 표면에서 더 나은 마무리, 웨이퍼 두께 및 차원에서 뛰어난 정확도를 제공합니다. BUEHLER ECOMET III는 정확한 외부 지멘스 (Siemens) 서보 모터로 구동되며 랩핑 및 연마 중에 정확한 속도 및 압력 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 처리된 각 웨이퍼에 대해 고품질 서피스 마무리가 보장됩니다. ECOMET III에는 각 웨이퍼에서 사용자 정의 마무리를 위해 조정할 수있는 고유하고 조절 가능한 압력 셀 (Pressure Cell) 이 장착되어 있습니다. BUEHLER ECOMET III에는 최적의 랩핑 및 연마 결과를 보장하는 온도 조절 척도 포함되어 있습니다. ECOMET III 는 운영자의 관심을 최소화하면서 일관된 처리량과 품질 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이것은 반복 가능한 웨이퍼 로딩을위한 자동 인덱싱 (automated indexing) 과 같은 내장 기능을 통해 달성되며, 많은 프로세스 레시피 설정을 저장할 수 있습니다. BUEHLER ECOMET III는 또한 특정 응용 요구 사항에 맞게 2 개의 다른 그라인딩 휠 (다이아몬드 또는 비 다이아몬드 연마물) 을 선택할 수 있습니다. ECOMET III는 또한 손쉬운 유지 보수 및 서비스를 위해 설계되었습니다. 이 장치에는 스핀들 유지 보수 머신 (spindle maintenance machine) 이 포함되어 있으며, 행성 연마제 플래텐을 빠르고 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. BUEHLER ECOMET III (BUEHLER ECOMET III) 에는 자동 그라인딩 미디어 보충 도구가 있으며, 이 도구는 자산이 웨이퍼에 대한 균일 한 마무리를 일관되게 생성하도록 도와줍니다. 전반적으로, ECOMET III는 반도체 산업의 생산성을 높이기 위해 뛰어난 마무리와 정확성을 제공하는 매우 신뢰할 수 있고 다재다능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델입니다. 장비는 사용하기 쉽고, 설치 공간이 작으며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다.
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