판매용 중고 BUEHLER Ecomet 3 #9352405
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BUEHLER Ecomet 3은 다이 및 웨이퍼 재료 처리를 위해 특별히 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 거친 그라인딩, 그라인딩 랩핑, 다이아몬드 연마 등 3 가지 수준의 마무리를 위해 별도의 워크스테이션이 있습니다. 결함 평가, 결정 구조 분석, 평면 서피스 생성 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. BUEHLER ECOMET-3 (BUEHLER ECOMET-3) 은 한 번에 최대 8 개의 웨이퍼를 수용하도록 설계되었으며 자동 캐리어를 장착하여 연삭 스테이션에 인덱스화합니다. 2 개의 개별 그라인딩 휠은 최대 1000 rpm까지 다른 속도로 달릴 수 있습니다. 연삭 주기는 단일 연마제 디스크 또는 2 개의 연마제 디스크를 사용하여 특정 마찰 계수를 얻습니다. 래핑 스테이션 (lapping station) 에는 표면 결함을 제거하고 마무리 품질을 향상시키기 위해 표면을 따라 균일하고 부드러운 이동을위한 특수 행성 드라이브가 장착되어 있습니다. 연마 스테이션은 가변 다이아몬드 슬러리 적용 률 (variable diamond slurry application rate) 과 연마 율의 슬러리 조정 (slurry adjustment) 기능을 통해 고정밀 결과를 얻을 수 있습니다. 하드웨어는 CAMS 프로파일 (CAMS Profile) 소프트웨어 패키지에서 지원되며, 사용자는 사용자 정의 재료 유형과 처리 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 장치에는 자동 온도 피드백 루프 (automatic temperature feedback loop) 가 장착되어 있어 가공소재가 스테이션에 들어올 때 지정된 온도에 유지됩니다. 또한 Ecomet 3의 제어 시스템은 주문형 데이터 로깅 및 추세를 제공합니다. ECOMET-3은 CE 인증을 받았으며, 자동 청소, 웨이퍼 캐리어 로딩, 일반 유지 보수 등 다양한 옵션 및 서비스 프로그램이 제공됩니다. 다재다능성 (versitility) 은 광범위한 재료를 수용하고 다른 환경 조건에서 작업하는 것이다. BUEHLER Ecomet 3는 모두 웨이퍼, 다이 및 기타 기판 처리를 위해 경제적이고, 정밀하며, 자동화된 솔루션을 제공합니다.
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