판매용 중고 BUEHLER Ecomet 3 #293808563

BUEHLER Ecomet 3은 까다로운 어플리케이션을 위한 최고의 처리량과 품질을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 반도체, 밈과 광전자 웨이퍼를 빠르게 처리 할 수 있습니다. BUEHLER ECOMET-3에는 효과적이고 효율적이며 안전한 프로세스를 보장하기 위해 사전 적재 된 연마제 회전 목마, 스핀들, 3 개의 공정 챔버 및 다중 구역 연료 후드가 포함됩니다. Ecomet 3에 사전 적재 된 연마 형 회전 목마는 연마, 랩핑 및 연마를위한 연마 화합물과 화합물을 포함합니다. 이 자동 사전 로드는 전체 웨이퍼 프로세스 동안 연마제를 사용할 수 있도록 합니다. ECOMET-3 내의 스핀들 (spindle) 은 연마 휠 표면과 함께 작동하여 형태, 회전 및 압력을 사용하여 제어 된 그라인딩을 달성하여보다 효율적인 절단 동작을 형성합니다. 또한, 스핀들 (spindle) 에는 연마식 휠의 표면이 사용 가능하도록 하는 여러 가지 강화 메커니즘이 포함되어 있습니다. BUEHLER Ecomet 3의 3 가지 공정 챔버는 웨이퍼 크기와 모양, 특정 연삭 및 연마 요구 사항에 맞게 개별적으로 구성 될 수 있습니다. 예를 들어, 하부 챔버 (lower chamber) 는 랩핑에 사용되고, 상부 챔버 (upper chamber) 와 중간 챔버 (middle chamber) 는 각각 연삭 및 연마에 사용됩니다. 이 다목적 기계는 석영, 사파이어, SiC, 다결정 다이아몬드 및 기타 웨이퍼 기질을 포함한 다양한 재료를 지원할 수 있습니다. BUEHLER ECOMET-3의 멀티 존 (multi-zone) 푸드 후드는 효과적이고 효율적이며 안전한 프로세스를 보장합니다. 그것 은 "그라인딩 '과 연마 과정 중 에 방출 되는 금속 먼지, 금속 산화물 과 같은 위험 한 물질 을 포착 한다. 또한 Ecomet 3 기반의 ESC Intelligent Control Architecture (지능형 제어 아키텍처) 는 실시간 상태 및 프로세스 모니터링을 제공하여 생산성을 최적화하는 동시에 웨이퍼 수율 및 품질을 높입니다. 결론적으로, ECOMET-3은 까다로운 어플리케이션에 대한 처리량, 품질, 안전성을 제공하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 이 기계에는 자동화 된 사전 적재 된 연마 형 회전 목마, 효과적인 스핀들, 3 개의 공정 챔버 및 유해 물질을 포착 할 수있는 다중 구역 fume 후드가 포함됩니다. BUEHLER Ecomet 3 기반의 ESC Intelligent Control Architecture는 프로세스 제어 및 모니터링을 통해 생산성과 품질을 최적화합니다.