판매용 중고 BUEHLER Beta Series #293621201

BUEHLER Beta Series는 연삭, 랩핑 및 연마 웨이퍼를위한 다기능 장비입니다. 이 시스템은 최소한의 연산자 개입과 함께 일관되게 생성 된 웨이퍼 (wafer) 에서 최고 수준의 서피스 마무리 (surface finish) 를 제공합니다. 이 시리즈는 다양한 구성 요소로 구성되어 있으며, 모두 함께 작동하여 원하는 결과를 얻습니다. 단위의 주요 컴포넌트는 그라인딩 휠 (grinding wheel) 으로, 특정 마무리를 생성하도록 특별히 설계되었습니다. "휠 '은 장착 된 연마제" 디스크' 로 이루어져 있는데, 이 "디스크 '는 바퀴 의 중앙 을 돌면서" 웨이퍼' 의 표면 을 갈아 놓는다. 중앙 구동 장치 (Central Drive Unit) 는 바퀴를 구동하고 휠 속도와 방향 및 위치를 제어합니다. 그라인딩 휠을 조정하여 다양한 유형의 서피스 마무리 (예: 거울 연마, 무광택 마무리) 를 만들 수 있습니다. 두 번째 구성 요소는 랩핑 휠 (lapping wheel) 으로, 웨이퍼의 표면을 마무리하는 데 사용됩니다. 그것 은 "다이아몬드 '입자 가 포함 된 회전 원반 으로 구성 되어 있는데, 이것 은" 웨이퍼' 의 표면 에 있는 불규칙 한 점 들 을 매끄럽게 하는 데 사용 된다. 랩핑 휠은 일반적으로 2 개의 부품, 구동 휠 및 가이드 휠로 구성됩니다. 구동 륜은 스테퍼 모터 (stepper motor) 에 의해 제어되며, 스텝 모터는 정방향 (forward) 과 역방향 (reverse direction) 으로 이동하여 일관된 마무리를 보장합니다. 마지막 구성 요소는 연마 휠 (polishing wheel) 으로, 웨이퍼에 반짝이고 광택있는 마무리를 제공하는 데 사용됩니다. 바퀴는 다이아몬드 파우더로 구성되어 있으며, 웨이퍼로 옮겨집니다. 연마 "휠 '은" 모터' 에 의하여 제어 되는데, 그것 은 일정한 속도 로 회전 하여 일관성 있는 마무리 를 보장 해 준다. 베타 시리즈 (Beta Series) 는 웨이퍼에 다양한 유형의 표면 마무리를 만드는 강력하고 신뢰할 수있는 기계입니다. 정밀 연삭, 랩 핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 의 조합으로, 최소 연산자 개입으로 일관되게 고품질의 결과를 보장합니다.