판매용 중고 BUEHLER 10-1040-460 #9276732

BUEHLER 10-1040-460은 고정밀 작동을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 두께 (wafer thickness), 평면도 (flatness), 평행도 (parallelism) 및 기타 형상 피쳐에 대해 단단한 공차를 달성할 수 있습니다. 10-1040-460 (10-1040-460) 은 전체 프로세스 동안 일관성있는로드 및 그라인딩 압력을 적용되는 기계적 (mechanical) 과 랩핑 (lapping) 액추에이터의 조합으로 인해 높은 정확도와 일관된 표면 품질을 제공합니다. 이 장치는 0.500mm - 1.500mm 범위의 두께를 가진 다양한 웨이퍼를 지원하도록 설계되었습니다. BUEHLER 10-1040-460에는 세련된 결과를 얻기 위해 몇 가지 구성 요소가 포함되어 있습니다. 정밀 스핀들 (spindle) 은 진공 패드에 웨이퍼를 고정시켜 공정 전체에서 안정성을 유지합니다. 이것은 틸팅 (tilting) 기능을 갖춘 유체 정역학적 베어링으로, 연삭 동작의 다양한 각도와 방향을 허용합니다. 3축 서보 모터 테이블 (three-axis servo motor table) 은 웨이퍼의 X-Y-Z 동작을 제어하는 데 사용되며 랩핑 절차에 정확하게 배치됩니다. 양털 연마 패드가있는 고속 랩핑 헤드는 X-Y-Z 테이블의 동작을 따릅니다. 10-1040-460에는 과도한 연삭 압력을 모니터링하고 방지하는 다양한 구성 요소가 포함되어 있습니다. 예를 들어, 프리 플로팅 압력 트랜스듀서 (free-floating pressure transducer) 는 웨이퍼에 대한 랩핑 헤드의 압력을 지속적으로 모니터링합니다. 이렇게 하면, 필요 한 표면 마무리 를 좀더 잘 제어 할 수 있으며, 과도 한 연삭 압력 을 방지 할 수 있다. 또한, 옵토 전자 변위 센서와 LCD 디스플레이 모니터는 웨이퍼의 위치 및 표면 프로파일을 정확하게 모니터링합니다. 고급 터치스크린 연산자 (touchscreen operator) 인터페이스를 사용하면 편리하고 정밀한 작업을 수행할 수 있습니다. 인터페이스를 통해 연산자는 압력 (pressure) 및 속도 (speed) 와 같은 설정을 쉽게 정의하고 연삭, 랩핑 (lapping) 및 연마 프로세스의 진행 상황을 모니터링할 수 있습니다. 이 연산자 인터페이스는 BUEHLER 10-1040-460 의 작동 및 제어 기능을 간소화하여 결과의 신뢰성과 정확성을 보장합니다. 결론적으로, 10-1040-460은 구성 요소가 장착 된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로, 정확한 작동 및 웨이퍼에 대한 엄격한 내결함성을 보장합니다. 정밀 스핀들 (spindle), 서보 모터 테이블 (servo motor table), 랩핑 헤드 (lapping head), 압력 변환기 (pressure transducer) 및 옵토 전자 변위 센서 (opto-electronic displacement sensor) 에서 고급 연산자 인터페이스에 이르기까지 최소한의 연산자 노력으로 안정적이고 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다.