판매용 중고 ASYST A525 #9394057
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ID: 9394057
빈티지: 2002
Grinding machine
Grinding length: 500 mm
Grinding width: 200mm
2002 vintage.
ASYST A525 (ASYST A525) 는 최첨단 기술로 구동되는 다기능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 웨이퍼 및 기판 생산에 최대 효율성과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 그라인딩 헤드 (Grinding Head) 설계는 정교한 컨트롤러와 사용자 인터페이스와 연동되어 사용자의 요구에 따라 2분 이내에 다양한 기판을 그라인딩 (Grind), 랩 (Lap), 폴링 (Polish) 등의 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 매우 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 고정밀 4 축 로봇 스핀들 모터가 장착되어 있습니다. 또한 밀폐형, 먼지가없는 진공 냉각기를 사용하여 정확한 연삭 환경을 유지하고 열을 줄입니다. 모든 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping), 다듬기 (polishing) 작업은 프로세스 매개변수를 자동으로 제어하고 최적화할 수 있는 사용자에게 친숙한 컨트롤러와 자체 프로그래밍 소프트웨어에 의해 제어됩니다. 또한 컨트롤러에는 직관적인 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 가 제공되어 시간 소모적이고 지루한 수동 프로그래밍 (Manual Programming) 없이 신속하게 프로세스를 프로그래밍하고 실행할 수 있습니다. 또한, A525 장치에는 연삭 및 연마 공정을 더욱 향상시키기 위해 설계된 다양한 액세서리와 기능이 있습니다. 연삭, 랩핑, 연마 작업 중 쉽고 정밀한 기판 배치 및 조작을 위한 자동 로딩 메커니즘이 특징입니다. 이 기계에는 곡면 (curved) 또는 비스듬한 (oblique) 모서리가있는 기판을 빠르게 인식하고 측정하기위한 자동 모서리 탐지 도구가 포함되어 있습니다. 또한, 연삭 휠 컨디셔닝 에셋이 특징이며, 연삭 휠의 표면을 자동으로 유지하여 지속적으로 고성능 연삭 및 연마 작업을 보장합니다. ASYST A525 모델은 직경이 최대 6, 8 또는 12 인치, 두께가 최대 0.071 인치인 기판을 처리 할 수 있습니다. 척 (chucks), 그라인딩 패드 (grinding pad), 홀더 (holder), 마운트 (mount) 등과 같은 다양한 액세서리를 사용하여 특정 응용 프로그램 및 요구 사항에 맞게 장비를 구성할 수 있습니다. 박막 장치 생산, 반도체 장치 처리, MEMS 제작 등을 포함하여 웨이퍼 (wafer) 및 기판 생산 작업에 이상적입니다.
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