판매용 중고 APPLIED MATERIALS Mirra Mesa #73051
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판매
ID: 73051
metal layer CMP system, copper, 8"
Software license, re-installation and startup to Tier II
Mirra Mesa CMP
Original W system - running Cu
Mesa cleaner
One monitor, trackball
50 ft cables
InSitu removal rate monitor (ISRM) detectors on all 3 platens
50ft ISRM cables
Standard cassette tank
Titan 2 heads for tungsten
AEP retaining ring
Pad conditioner:
DDF3 - new design with clean up spray nozzle, N2 purge
Extended rinse slurry dispense arm
Platten Pad: Process kit with IC1000 pad
Standard Platten no temperature control
Wafer loss sensor with light pipe
3 slurries (AB1, AB2, AC3) 1 DIW per platten, std flow, without flow monitor
One drain line to facilities - all drains manifold into one
NPT drain fittings
Electronic control box for slurry monitoring only
Light tower: 3-color vertical, Red/Green/Yellow with flash and buzzer
No key switch, compatible with all light towers and no light tower
Lower exhaust for standalone system
Remote start/stop button on polisher
Guard ring on all EMO (CE compliant)
Single spray gun
No Window in side panel
Tie-downs on polisher & controller feet
No UPS
Smoke detector in controller
No pad puller, for one line to facilities option
Nanometrics
Universal disk holder
ABT Universal disks
Cass present sensor
Wafer mapping
Kit Cascading Ergo fabs w/o filter
2006 vintage.
응용 재료 미라 메사 (Mirra Mesa) 는 훌륭한 표면 마감으로 엄격한 관용을 유지해야하는 사람들을위한 이상적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 생산 공정을 손상시키지 않고 일관성 있고, 높은 정밀도 마감 (finish) 으로 효율적으로 갈아서 랩핑하도록 설계되었습니다. 이 제품은 10kW 이상의 서보 전동식 스핀들 파워 (spindle power) 로 구동되며, 고급 모션 제어 전자 장치 및 고성능 연마 휠, 내장 교정 및 프로세스 모니터링 기능이 결합되어 있습니다. 이 장치는 다양한 단계에서 거친 그라인드 (grind) 를 활용하여 우수한 표면 마무리 (surface finish) 를 산출하지만 필요할 때 더 미세한 표면 마무리 (finish) 를 생성 할 수 있습니다. 하이브리드 디자인을 사용하여 그라인딩 휠은 고성능 연마재, 다이아몬드 그릿 (diamond grit), 카바이드 그릿 (carbide grit) 의 조합을 사용하여 웨이퍼가 프로세스 전체에서 매우 매끄럽게 유지되도록 합니다. 이 바퀴의 디자인은 다양한 스핀들 속도 (spindle speed) 와 스텝 진행 속도 (step advance rate) 를 통합하여 필요에 따라 훨씬 빠른 그라인드 및 마무리 속도를 제공합니다. 이 바퀴에는 정확도 및 균일성 향상을 위해 독특한 진동 기능이 장착되어 있습니다. 가장 강력한 프로세스 제어를 위해 Mirra Mesa 머신에는 그라인딩 및 랩핑 프로세스를 정확하게 제어하기위한 디지털-아날로그-하이브리드 컨트롤러 (digital-analog-hybrid controller) 가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 연산자가 버튼을 클릭하여 스핀들 속도 (spindle speed) 또는 진동 속도 (oscillating speed) 를 조정할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 필요에 따라 보정하기 위해 온도, 압력, 힘, 진동 및 기타 역학을 모니터링합니다. 또한, 자산은 안전한 작동을 보장하기 위해 자동화된 긴급 차단 (Emergency Shofff) 및 긴급 지연 (Emergency Delay) 버튼 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 모델에는 그라인딩 휠 (Grinding Wheel) 을 보호하고 차단을 방지하는 제로 포스 (Zero-Force) 규정 준수 장비가 있습니다. 마지막으로, 이 시스템에는 다양한 다이아몬드, 카보룬덤 그릿 (carborundum grit), 웨이퍼 홀더 (wafer holders), 척 (chuck), 다양한 프로세스 모니터링 및 제어 소프트웨어를 포함한 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 이 모든 것 들 은 효과적 이고, 제어 할 수 있는 연삭, "랩핑 ', 연마 장치 를 더해 주는데, 이것 은 타이트한 공차 와 탁월 한 표면 마무리 로" 웨이퍼' 를 정확 하고 균일 하게 마무리 할 수 있다.
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