판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9394792

AMAT/APPLIED MATERIALS 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템의 반사 시리즈는 반도체 웨이퍼, 결정 및 기타 기판의 빠르고, 고정밀 그라인딩, 랩 및 연소를 가능하게하도록 설계되었습니다. 사용 중, 장비는 1 미크론의 +/- 1/10보다 더 나은 균일 성을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 Si, Ge, 융합 실리카, 석영, GaAs, InP 및 기타 많은 반도체 재료와 같은 기질에 이상적입니다. AMAT Reflexion 장치는 2 단계 공정으로 설계되었으며, 이는 연삭 단계와 랩 및 광택 단계로 시작됩니다. 첫 번째 단계는 고속 스핀들에 장착 된 다이아몬드 그라인딩 휠을 사용합니다. "다이아몬드 휠 '은 속도 가 1 분 에 5,000 회 까지 회전 하여, 기판 의 초기 두께 를 감소 시키고, 기판 을 원하는 모양 과 크기 로 갈아낸다. 두 번째 단계 에는 "다이아몬드 '" 랩핑' 디스크 에 의하여 기판 이 더욱 감소 되는 "랩핑 '과 연마 단계 가 포함 되며, 그것 은 최대 150,000" rpm' 에서 작업 할 수 있다. 랩핑 디스크는 1 nm RMS 이상의 매우 높은 표면 마무리를 제공 할 수 있습니다. 마지막 연마 단계는 마이크로 패드 (micro pad) 와 슬러리 (slurry) 를 사용하여 수행되며, 표면을 완벽하게 연마합니다. APPLIED MATERIALS Reflexion 은 두 개의 랩핑 디스크로 구성할 수 있으므로 처리량과 정확도를 높일 수 있습니다. 반사 (Reflexion) 에는 사용하기 쉽고 유지 관리하기 쉬운 몇 가지 다른 기능도 포함되어 있습니다. 즉, 견고한 제어 머신 (control machine) 이 장착되어 있어 모든 컴포넌트가 올바르게 정렬되어 있으며, 공구가 최적의 성능을 제공합니다. 에셋에는 긴급 전원 단추를 포함하는 안전 (Safety) 모델도 내장되어 있습니다. 마지막으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Reflexion에는 내장 진동 감쇠 장비가 포함되어 있으므로 전체 시스템이 환경 진동으로부터 분리됩니다. AMAT Reflexion 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장치는 기판 연삭, 랩 및 연마를위한 신뢰할 수있는 고정밀 플랫폼을 제공합니다. 이 기계는 2 단계 공정, 고속 다이아몬드 그라인딩 휠 및 랩핑 디스크, 내장 안전 및 진동 댐핑 시스템을 갖추고 있으며, 균일성과 높은 표면 마무리를 제공 할 수 있습니다.