판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Reflexion #9390826
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ID: 9390826
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Dielectric CMP system, 12"
(3) Load ports
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 200 V, 3 Phase
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 리플렉션 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 제어된 환경 내에서 탁월한 정확도, 반복성, 처리량을 제공하도록 설계된 고급 도구입니다. 대용량 웨이퍼 연마 응용 프로그램, 특히 더 높은 수준의 웨이퍼 평탄성을 만들기 위해 사용됩니다. 이 시스템의 독특한 디자인은 고급 컴퓨터 제어 동작 (computer-controlled movement) 과 특허를 획득한 연마 프로세스를 결합하여 탁월한 정확성을 보장합니다. AMAT 반사 장치 (Reflexion Unit) 는 사용자가 이전보다 더 많은 제어 및 연마 프로세스를 사용자 정의할 수 있도록 해줍니다. 여기에는 일련의 연삭 및 연마 스테이션 (grinding and polishing station) 이 포함되며, 각 스테이션은 여러 기능을 수행 할 수 있습니다. 연마소 는 정밀 "다이아몬드 '바퀴 를 사용 하여" 웨이퍼' 표면 을 준비 하는 반면, 연마소 는 고도 의 표면 평평 함 을 달성 하기 위하여 독특 한 특허 연마 과정 을 이용 한다. 사용자는 특정 요구사항 (예: 웨이퍼 크기, 연마 프로세스 단계 수) 에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 수동 조작을 제거하고 일관성을 향상시키는 자동화된 로드/언로드 (load/unload) 자산을 제공합니다. 또한, 전체 모델은 닫힌 루프 작업 (closed loop operation) 에 통합되어 최소 설정/제거 시간으로 연마 프로세스가 추적 및 수행되도록 합니다. APPLIED MATERIALS Reflexion 장비에는 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 및 진단 (Diagnostics) 기능이 장착되어 있어 전체 프로세스를 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 가장 높은 수준 의 정확도 와 반복성 으로 연마 된다. 또한, 연마 프로세스의 실시간 분석을 통해 시스템이 품질에 영향을 미치기 전에 모든 편차를 감지하고 수정 할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 추가 처리를 위해 웨이퍼가 이전되기 전에 종합적인 품질 보증 (Quality Assurance) 테스트를 수행합니다. 결론적으로, Reflexion 기계는 대용량 웨이퍼 연마 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 도구입니다. 강력한 기능의 조합으로, 사용자는 연마 프로세스를 사용자 정의하고, 정확도를 높이고, 전체 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이 툴은 탁월한 성능, 정확성, 처리량을 원하는 고객에게 적합합니다.
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